環(huán)境掃描電子顯微鏡工作原理：電子與樣品中的原子相互作用,，產(chǎn)生包含關(guān)于樣品的表面測繪學(xué)形貌和組成的信息的各種信號,。電子束通常以光柵掃描圖案掃描，并且光束的位置與檢測到的信號組合以產(chǎn)生圖像,。掃描電子顯微鏡由電子槍發(fā)射出電子束,，在加速電壓的作用下經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成電子束,，聚焦在樣品表面上,，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉(zhuǎn)線圈的作用下，電子束在樣品上做光柵狀掃描,，電子和樣品相互作用產(chǎn)生信號電子,。這些信號電子經(jīng)探測器收集并轉(zhuǎn)換為光子，再經(jīng)過電信號放大器加以放大處理,，成像在顯示系統(tǒng)上,。
環(huán)境掃描電子顯微鏡的儀器特點：
①能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),。
?、跇悠分苽溥^程簡單，不用切成薄片,。
?、蹣悠房梢栽跇悠肥抑凶魅瓤臻g的平移和旋轉(zhuǎn)，因此,，可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀察,。
④景深大,，圖象富有立體感,。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍,。
?、輬D象的放大范圍廣,，分辨率也比較高?？煞糯笫畮妆兜綆资f倍,，它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍,。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,。
⑥電子束對樣品的損傷與污染程度較小,。
?、咴谟^察形貌的同時，還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析,。
環(huán)境掃描電子顯微鏡由三大部分組成：真空系統(tǒng),，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。
1.真空系統(tǒng)：主要包括真空泵和真空柱兩部分,。真空柱是一個密封的柱形容器,。真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。
2.電子束系統(tǒng)：由電子槍和電磁透鏡兩部分組成,，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的,、電子能量確定的電子束用以掃描成像。
3.成像系統(tǒng)：電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束后,，打到樣品上與樣品相互作用,，會產(chǎn)生次級電子、背散射電子,、俄歇電子以及X射線等一系列信號,。
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