掃描電鏡（ScanningElectronMicroscope,簡(jiǎn)寫為SEM）是一個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng),，濃縮了電子光學(xué)技術(shù),、真空技術(shù)、精細(xì)機(jī)械結(jié)構(gòu)以及現(xiàn)代計(jì)算機(jī)控制技術(shù),。掃描電鏡主要是針對(duì)具有高低差較大,、粗糙不平的厚塊試樣進(jìn)行觀察，因而在設(shè)計(jì)上突出了景深效果,，一般用來分析斷口以及未經(jīng)人工處理的自然表面,。
工作原理：
掃描電鏡電子槍發(fā)射出來的電子束，在加速電壓的作用下,，經(jīng)過電磁透鏡系統(tǒng)匯聚,，形成一個(gè)細(xì)的電子束斑聚焦在樣品表面，末級(jí)透鏡上裝有的掃描線圈可控制電子束在樣品表面掃描,，同時(shí)高能電子束作用在樣品表面會(huì)激發(fā)出各種信號(hào),，主要包括：二次電子、背散射電子,、吸收電子,、X射線、俄歇電子,、陰極熒光和透射電子等,，這些信號(hào)被相應(yīng)的接收器接收，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上,，調(diào)制顯像管的亮度,，電子束打到樣品上一點(diǎn)，在顯像管熒光屏上就出現(xiàn)一個(gè)亮點(diǎn),，掃描電鏡就是這樣采用逐點(diǎn)成像的方法,，把樣品表面不同的特征，按順序成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號(hào),，從而使我們?cè)跓晒馄辽嫌^察到樣品表面的各種特征圖像,。
特點(diǎn)
（1）能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)，樣品的尺寸可大至120mm*80mm*50mm。
（2）樣品的制備過程簡(jiǎn)單,，不用切成薄片,。
（3）樣品可以在樣品室中作三維空間的平移和旋轉(zhuǎn)，因此可以從各種角度對(duì)樣品進(jìn)行觀察,。
（4）景深大,，圖像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu),。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍,，比透射電鏡大幾十倍。
（5）圖像的放大范圍廣,，分辨率也比較高,。可放大十幾倍到幾十萬倍,，它基本上包括了從放大鏡,、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,，可達(dá)3nm,。
（6）電子束對(duì)樣品的損傷與污染程度較小。
（7）能夠進(jìn)行動(dòng)態(tài)觀察（如動(dòng)態(tài)拉伸,、壓縮,、彎曲、升降溫等）,。
（8）在觀察形貌的同時(shí),，還可利用從樣品發(fā)出的其他信號(hào)做微區(qū)成分及晶體學(xué)分析。
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