掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。廣泛用于生物學(xué),、醫(yī)學(xué),、金屬材料、高分子材料,、化工原料,、地質(zhì)礦物、商品檢驗(yàn),、產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量控制,、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析,?？梢杂^察和檢測(cè)非均相有機(jī)材料、無(wú)機(jī)材料及在上述微米,、納米級(jí)樣品的表面特征,。
掃描電子顯微鏡是以能量為1-30kV間的電子束，以光柵狀掃描方式照射到被分析試樣的表面上,，利用入射電子和試樣表面物質(zhì)相互作用所產(chǎn)生的二次電子和背散射電子成像,，獲得試樣表面微觀組織結(jié)構(gòu)和形貌信息。配置波譜儀和能譜儀,，利用所產(chǎn)生的X射線對(duì)試樣進(jìn)行定性和定量化學(xué)成分分析,。掃描顯微鏡的電子槍為場(chǎng)發(fā)射電子槍，通過(guò)高能電子束照射被測(cè)樣品后所產(chǎn)生不同的物理信號(hào),，而后對(duì)不同的物理信號(hào)進(jìn)行分析得到被測(cè)樣品的多種信息,。
掃描電鏡儀器技術(shù)的發(fā)展進(jìn)一步提高電子束照明源的工作穩(wěn)定性，減小其閃爍噪音,；進(jìn)一步提高在低加速電壓下對(duì)大試樣觀察和分析的分辨率,；開(kāi)拓同低能掃描電子顯微術(shù)有關(guān)功能的新儀器技術(shù)。掃描電子顯微鏡有較高的放大倍數(shù),，有很大的景深,，視野大，成像富有立體感,，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu),；試樣制備簡(jiǎn)單,，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀(EDS)裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析,。
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