掃描電子顯微鏡的優(yōu)勢為可以直接觀察非常粗糙的樣品表面，參差起伏的材料原始斷口,。但其劣勢為樣品必須在真空環(huán)境下觀察,，因此對樣品有一些特殊要求,總的來說：干燥，無油,，導電,。
1、形貌形態(tài),，必須耐高真空。
例如有些含水量很大的細胞,，在真空中很快被抽干水分,，細胞的形態(tài)也發(fā)生了改變，無法對各類型細胞進行區(qū)分,；
2,、樣品表面不能含有有機油脂類污染物。
油污在電子束作用下容易分解成碳氫化物,，對真空環(huán)境造成極大污染,。樣品表面細節(jié)被碳氫化合物遮蓋；碳氫化合物降低了成像信號產(chǎn)量,；碳氫化合物吸附在電子束光路引起極大象散,；碳氫化合物被吸附在探測器晶體表面，降低探測器效率,。對低加速電壓的電子束干擾嚴重,。
3、樣品必須為干燥,。
水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發(fā),，從而極大降低燈絲壽命；水蒸氣會散射電子束,，增加電子束能量分散,，從而增大色差,，降低分辨能力。
4,、樣品表面必需導電,。
在大多數(shù)情況下，初級電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和,，因此多余的電子必須導入地下,，即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不導電,，或者樣品接地線斷裂,，那么樣品表面靜電荷存在，使得表面負電勢不斷增加,，出現(xiàn)充電效應,，使圖像畸變，入射電子束減速,，此時樣品如同一個電子平面鏡,。
5、在某些情況下,，樣品制備變成重要的考慮因素,。
若要檢測觀察弱反差機理，就必須消除強反差機理（例如,，形貌反差）,，否則很難檢測到弱的反差。當希望EBSD背散射電子衍射反差,，I和II型磁反差或其他弱反差機理時,，磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學拋光,，電解拋光等,，產(chǎn)生一個幾乎消除形貌的鏡面。 特殊情況:磁性材料,，必須退磁,。
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