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掃描電子顯微鏡的優(yōu)勢為可以直接觀察非常粗糙的樣品表面,，參差起伏的材料原始斷口。但其劣勢為樣品必須在真空環(huán)境下觀察,，因此對樣品有一些特殊要求,總的來說：干燥,，無油，導(dǎo)電,。  

1,、形貌形態(tài)，必須耐高真空,。  

例如有些含水量很大的細(xì)胞,，在真空中很快被抽干水分，細(xì)胞的形態(tài)也發(fā)生了改變,，無法對各類型細(xì)胞進(jìn)行區(qū)分,；  
 

2、樣品表面不能含有有機(jī)油脂類污染物,。  

油污在電子束作用下容易分解成碳?xì)浠?，對真空環(huán)境造成極大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w,；碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘柈a(chǎn)量,；碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬饦O大象散；碳?xì)浠衔锉晃皆谔綔y器晶體表面,，降低探測器效率,。對低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。  
 

3,、樣品必須為干燥,。  

水蒸氣會(huì)加速電子槍陰極材料的揮發(fā)，從而極大降低燈絲壽命,；水蒸氣會(huì)散射電子束,，增加電子束能量分散，從而增大色差,，降低分辨能力,。  
 

4,、樣品表面必需導(dǎo)電。  

在大多數(shù)情況下,，初級電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和,，因此多余的電子必須導(dǎo)入地下，即樣品表面電位必須保持在0電位,。如果樣品表面不導(dǎo)電，或者樣品接地線斷裂,，那么樣品表面靜電荷存在,，使得表面負(fù)電勢不斷增加，出現(xiàn)充電效應(yīng),，使圖像畸變,，入射電子束減速，此時(shí)樣品如同一個(gè)電子平面鏡,。  
 

5,、在某些情況下，樣品制備變成重要的考慮因素,。  

若要檢測觀察弱反差機(jī)理,，就必須消除強(qiáng)反差機(jī)理（例如，形貌反差）,，否則很難檢測到弱的反差,。當(dāng)希望EBSD背散射電子衍射反差，I和II型磁反差或其他弱反差機(jī)理時(shí),，磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌,。采用化學(xué)拋光，電解拋光等,，產(chǎn)生一個(gè)幾乎消除形貌的鏡面,。 特殊情況:磁性材料，必須退磁,。