在材料領(lǐng)域中,，掃描電鏡技術(shù)發(fā)揮著極其重要的作用，被廣泛應(yīng)用于各種材料的形態(tài)結(jié)構(gòu),、界面狀況,、損傷機(jī)制及材料性能預(yù)測(cè)等方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產(chǎn)生過(guò)程,，可以觀察金屬材料內(nèi)部原子的集結(jié)方式和它們的真實(shí)邊界,，也可以觀察在不同條件下邊界移動(dòng)的方式，還可以檢查晶體在表面機(jī)械加工中引起的損傷和輻射損傷等,。我們應(yīng)該了解掃描電鏡的結(jié)構(gòu),，并在自己的科學(xué)研究中利用好掃描電鏡這個(gè)工具，對(duì)材料進(jìn)行全面細(xì)致的研究,。
1．鏡筒
鏡筒包括電子槍,、聚光鏡、物鏡及掃描系統(tǒng),。其作用是產(chǎn)生很細(xì)的電子束(直徑約幾個(gè)nm),，并且使該電子束在樣品表面掃描，同時(shí)激發(fā)出各種信號(hào),。
2．電子信號(hào)的收集與處理系統(tǒng)
在樣品室中,，掃描電子束與樣品發(fā)生相互作用后產(chǎn)生多種信號(hào)，其中包括二次電子,、背散射電子,、X射線(xiàn),、吸收電子、俄歇(Auger)電子等,。在上述信號(hào)中,，最主要的是二次電子，它是被入射電子所激發(fā)出來(lái)的樣品原子中的外層電子,，產(chǎn)生于樣品表面以下幾nm至幾十nm的區(qū)域，其產(chǎn)生率主要取決于樣品的形貌和成分,。通常所說(shuō)的掃描電鏡像指的就是二次電子像,，它是研究樣品表面形貌的最有用的電子信號(hào)。檢測(cè)二次電子的檢測(cè)器的探頭是一個(gè)閃爍體,，當(dāng)電子打到閃爍體上時(shí),，就在其中產(chǎn)生光，這種光被光導(dǎo)管傳送到光電倍增管,，光信號(hào)即被轉(zhuǎn)變成電流信號(hào),，再經(jīng)前置放大及視頻放大，電流信號(hào)轉(zhuǎn)變成電壓信號(hào),，最后被送到顯像管的柵極,。
3．電子信號(hào)的顯示與記錄系統(tǒng)
掃描電鏡的圖象顯示在陰極射線(xiàn)管(顯像管)上，并由照相機(jī)拍照記錄,。顯像管有兩個(gè),，一個(gè)用來(lái)觀察，分辨率較低,，是長(zhǎng)余輝的管子,；另一個(gè)用來(lái)照相記錄，分辨率較高,，是短余輝的管子
4．真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)
掃描電鏡的真空系統(tǒng)由機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵組成,，其作用是使鏡筒內(nèi)達(dá)到10的真空度。
電源系統(tǒng)供給各部件所需的特定的電源,。
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