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技術(shù)文章

丹麥DME原子力顯微鏡DS95Navi介紹

閱讀:1107          發(fā)布時(shí)間:2022-4-28

公司簡(jiǎn)介:
DME - Danish Micro Engineering A/S 由 Curt Sander 博士于 1979 年創(chuàng)立,,是一家專注于微處理器技術(shù)和軟件的工程顧問公司,。那時(shí),,即將到來的新信息技術(shù)正在慢慢影響DME的日常生活,。許多丹麥公司很早就認(rèn)識(shí)到了微處理器技術(shù)的可能性,,DME 幫助丹麥公司從經(jīng)典(主要是模擬)電子技術(shù)過渡到微處理器技術(shù),并成為該領(lǐng)域重要的顧問公司之一,。丹麥微處理器技術(shù)的這一悠久傳統(tǒng)至今仍可見一斑,。在 PC 的擴(kuò)展方面,丹麥在歐洲,,在二,。
在此背景下,1987 年底,,DME 開始開發(fā)臺(tái) SPM 顯微鏡,,不久之后,該公司交付了臺(tái) TunnelSCope® 系列儀器,,該系列在 1990 年代初被 RasterSCope 取代,, DualSCope™ 系列。此時(shí),,DME 從一家咨詢公司轉(zhuǎn)變?yōu)橐患抑饕獙W⒂趻呙杼结橈@微鏡的制造公司,。RasterSCope 和 DualSCope 產(chǎn)品系列正在穩(wěn)步進(jìn)一步開發(fā)和補(bǔ)充,在過去 20 年中一直是 DME 的主要業(yè)務(wù)。因此,,DME 是市場(chǎng)上的 AFM,、STM 和 SNOM 設(shè)備制造商之一。忠實(shí)于DME的起源,,DME 將軟件作為主要開發(fā)項(xiàng)目之一,。
除了標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,DME 還對(duì)開發(fā)各種新產(chǎn)品感興趣,。尤其是在掃描探針技術(shù)方面,,通過DME的經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)知識(shí),DME 可以顯示出非常短的新產(chǎn)品開發(fā)時(shí)間 - 與其他制造商標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的交付時(shí)間相當(dāng)?shù)拈_發(fā)時(shí)間,。
2015 年 7 月,,DME 被 Semilab Zrt 公司收購,還是和以前一樣繼續(xù)生產(chǎn) SPM,。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
DME原子力顯微鏡即使從AFM移去樣品,DME原子力顯微鏡Navigator 220TM仍能確保再次觀察到同一個(gè)地方,?;趨⒖冀Y(jié)構(gòu),系統(tǒng)能找到精度在250 nm之內(nèi)的感興趣區(qū)域,。DME原子力顯微鏡整個(gè)定位過程是全自動(dòng)和高穩(wěn)定性,,從而完善了長期和短期測(cè)試分析一個(gè)示例的多個(gè)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)。DME原子力顯微鏡其主要應(yīng)用領(lǐng)域是光刻技術(shù)中質(zhì)量控制,,納米壓痕和多元工藝分析,,例如材料表面工程,納米管,,納米顆粒,,點(diǎn)和薄層/膜的生長等等。
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍:180nm*180nm
樣品尺寸:直徑<15mm,,厚度<5mm
定位檢測(cè)噪聲:X-Y<0.15nm RMS ,Z=35pm

技術(shù)參數(shù):
掃描體積:50×50×5mm(DS95-50)或200×200×15mm(DS95-200)

- XYZ方向探針移動(dòng)量:于樣本大?。?(AFM重要的通用準(zhǔn)則)
- 的機(jī)械穩(wěn)定性(在Z方向的原子步進(jìn)分辨率0.06 nm的有效值在HOPG)
- 的掃描速率30Hz
- 在Z方向的硬件線性掃描運(yùn)動(dòng)
- 在Z方向的噪音水平<0.05 nm的有效值
- 自我調(diào)節(jié)激光/懸臂偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)
- 在AC模式幅度設(shè)置<1納米
- 對(duì)懸臂式綜合光軸
- 即插即用懸臂式,,速度,,目前市場(chǎng)上的懸臂交流! (*)
- 由壓電馬達(dá)高度敏感的方法步驟(*)
- SPM模式:交流,,包括振幅成像和相位成像特區(qū),,包括LFM, MFM, KPFM, EFM, SCM, STM

產(chǎn)品型號(hào):
DME原子力顯微鏡Igloo
DME原子力顯微鏡Compact Granite
DME原子力顯微鏡Proberstation 150
DME原子力顯微鏡Navigator 220

DME原子力顯微鏡的產(chǎn)品特點(diǎn):
1、DME原子力顯微鏡DS95 SPM掃描儀的緊湊設(shè)計(jì),,了其出色的穩(wěn)定性和掃描速率,。
2、*的即插即用懸臂切換功能確保儀器可以快捷和的操作,。
3,、一個(gè)集成的光軸為SPM掃描儀在尋找和定位目標(biāo)過程中提供總體視覺控制,。
4、DME原子力顯微鏡S95 SPM掃描儀作為基本設(shè)備提供給所有常用和*的SPM型號(hào),。
5,、集成電子元件的掃描頭了在電性SPM模式下的噪音值。
6,、DS95多元底座允許DS95 SPM掃描儀,,納米壓痕儀和光學(xué)顯微鏡等安裝在DME底座平臺(tái)上。

產(chǎn)品應(yīng)用:
DME原子力顯微鏡其主要應(yīng)用領(lǐng)域是光刻技術(shù)中質(zhì)量控制,,納米壓痕和多元工藝分析,,例如材料表面工程,納米管,,納米顆粒,,點(diǎn)和薄層/膜的生長等。

 

產(chǎn)品系列:

DME顯微鏡

DME掃描儀

DME測(cè)量控制器

DME微電子


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