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丹麥DME原子力顯微鏡DS95Navi介紹
閱讀:1509 發(fā)布時間:2022-4-28公司簡介:
DME - Danish Micro Engineering A/S 由 Curt Sander 博士于 1979 年創(chuàng)立,,是一家專注于微處理器技術和軟件的工程顧問公司,。那時,即將到來的新信息技術正在慢慢影響DME的日常生活,。許多丹麥公司很早就認識到了微處理器技術的可能性,,DME 幫助丹麥公司從經典(主要是模擬)電子技術過渡到微處理器技術,,并成為該領域重要的顧問公司之一。丹麥微處理器技術的這一悠久傳統(tǒng)至今仍可見一斑,。在 PC 的擴展方面,,丹麥在歐洲,在二,。
在此背景下,,1987 年底,DME 開始開發(fā)臺 SPM 顯微鏡,,不久之后,,該公司交付了臺 TunnelSCope® 系列儀器,該系列在 1990 年代初被 RasterSCope 取代,, DualSCope™ 系列,。此時,DME 從一家咨詢公司轉變?yōu)橐患抑饕獙W⒂趻呙杼结橈@微鏡的制造公司,。RasterSCope 和 DualSCope 產品系列正在穩(wěn)步進一步開發(fā)和補充,,在過去 20 年中一直是 DME 的主要業(yè)務。因此,,DME 是市場上的 AFM,、STM 和 SNOM 設備制造商之一。忠實于DME的起源,,DME 將軟件作為主要開發(fā)項目之一,。
除了標準產品,DME 還對開發(fā)各種新產品感興趣,。尤其是在掃描探針技術方面,,通過DME的經驗和專業(yè)知識,DME 可以顯示出非常短的新產品開發(fā)時間 - 與其他制造商標準產品的交付時間相當?shù)拈_發(fā)時間,。
2015 年 7 月,,DME 被 Semilab Zrt 公司收購,還是和以前一樣繼續(xù)生產 SPM,。
產品簡介:
DME原子力顯微鏡即使從AFM移去樣品,,DME原子力顯微鏡Navigator 220TM仍能確保再次觀察到同一個地方?;趨⒖冀Y構,,系統(tǒng)能找到精度在250 nm之內的感興趣區(qū)域。DME原子力顯微鏡整個定位過程是全自動和高穩(wěn)定性,,從而完善了長期和短期測試分析一個示例的多個結構特點,。DME原子力顯微鏡其主要應用領域是光刻技術中質量控制,納米壓痕和多元工藝分析,例如材料表面工程,,納米管,,納米顆粒,點和薄層/膜的生長等等,。
樣品臺移動范圍:180nm*180nm
樣品尺寸:直徑<15mm,,厚度<5mm
定位檢測噪聲:X-Y<0.15nm RMS ,Z=35pm
技術參數(shù):
掃描體積:50×50×5mm(DS95-50)或200×200×15mm(DS95-200)
- XYZ方向探針移動量:于樣本大小,! (AFM重要的通用準則)
- 的機械穩(wěn)定性(在Z方向的原子步進分辨率0.06 nm的有效值在HOPG)
- 的掃描速率30Hz
- 在Z方向的硬件線性掃描運動
- 在Z方向的噪音水平<0.05 nm的有效值
- 自我調節(jié)激光/懸臂偏轉系統(tǒng)
- 在AC模式幅度設置<1納米
- 對懸臂式綜合光軸
- 即插即用懸臂式,,速度,目前市場上的懸臂交流,! (*)
- 由壓電馬達高度敏感的方法步驟(*)
- SPM模式:交流,,包括振幅成像和相位成像特區(qū),包括LFM, MFM, KPFM, EFM, SCM, STM
產品型號:
DME原子力顯微鏡Igloo
DME原子力顯微鏡Compact Granite
DME原子力顯微鏡Proberstation 150
DME原子力顯微鏡Navigator 220
DME原子力顯微鏡的產品特點:
1,、DME原子力顯微鏡DS95 SPM掃描儀的緊湊設計,,了其出色的穩(wěn)定性和掃描速率。
2,、*的即插即用懸臂切換功能確保儀器可以快捷和的操作,。
3、一個集成的光軸為SPM掃描儀在尋找和定位目標過程中提供總體視覺控制,。
4,、DME原子力顯微鏡S95 SPM掃描儀作為基本設備提供給所有常用和*的SPM型號。
5,、集成電子元件的掃描頭了在電性SPM模式下的噪音值,。
6、DS95多元底座允許DS95 SPM掃描儀,,納米壓痕儀和光學顯微鏡等安裝在DME底座平臺上,。
產品應用:
DME原子力顯微鏡其主要應用領域是光刻技術中質量控制,納米壓痕和多元工藝分析,,例如材料表面工程,納米管,,納米顆粒,,點和薄層/膜的生長等。
產品系列:
DME顯微鏡
DME掃描儀
DME測量控制器
DME微電子