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真空泵機(jī)組是將不同類型的泵串聯(lián)在一起的機(jī)組設(shè)備，有比較大抽氣速率,，而且可以更好的適應(yīng)使用環(huán)境。機(jī)組的串聯(lián)方式有多種,，主要根據(jù)前級(jí)泵的變化而命名,，它的工作原理自然也跟不同泵的選擇有關(guān)。
　　真空泵機(jī)組的工作原理：

　　1,、水環(huán)式真空泵工作原理
　　水環(huán)式真空泵葉片的葉輪偏心地裝在圓柱形泵殼內(nèi),。泵內(nèi)注入一定量的水。葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí),，將水甩至泵殼形成一個(gè)水環(huán),，環(huán)的內(nèi)表面與葉輪輪轂相切。由于泵殼與葉輪不同心,，右半輪轂與水環(huán)間的進(jìn)氣空間4逐漸擴(kuò)大,，從而形成真空，使氣體經(jīng)進(jìn)氣管進(jìn)入泵內(nèi)進(jìn)氣空間,。隨后氣體進(jìn)入左半部,，由于轂環(huán)之間容積被逐漸壓縮而增高了壓強(qiáng)，于是氣體經(jīng)排氣空間及排氣管被排至泵外,。

　　2,、旋片式真空泵工作原理
　　旋片式真空泵（簡稱旋片泵）是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33&times；10-2（pa）屬于低真空泵,。它可以單獨(dú)使用,，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金,、機(jī)械,、軍工、電子,、化工,、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門,。

　　3,、羅茨真空泵工作原理
　　羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),，所以,，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí),，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去,，使氣體壓強(qiáng)突然增高,。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外,。

　　水環(huán)式真空泵,、旋片式真空泵以及羅茨真空泵都是作為真空泵機(jī)組前級(jí)泵的選擇之一，了解了它們