真空泵的的機(jī)械如何選擇
隨著真空應(yīng)用的發(fā)展,,真空泵的種類已發(fā)展了很多種,其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn),、數(shù)百萬(wàn)升,。由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬,因此任何一種類型的真空泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍,,只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,,使用不同類型的真空泵。
真空泵的機(jī)械選擇:
1.空設(shè)備對(duì)油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),,應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵,、分子篩吸附泵,、濺射離子泵、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,,如加冷阱,、障板、擋油阱等,,也能達(dá)到清潔真空要求,。
2.了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,,有無(wú)顆?;覊m,有無(wú)腐蝕性等,。選擇真空泵時(shí),,需要知道氣體成分,,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒,、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,,如冷凝器,、除塵器等。
3.正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣,,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,,需要幾種泵組合起來(lái),,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,,但不能抽氦,,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,,兩者組合起來(lái),,便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空,;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用,。