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真空泵機(jī)組應(yīng)用領(lǐng)域

真空泵機(jī)組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備,、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī),、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備,、分析測(cè)試儀器;③機(jī)械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備,、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過濾設(shè)備,、材料提純?cè)O(shè)備,、超高真空排氣設(shè)備;④醫(yī)療設(shè)備行業(yè):牙科儀器、透析機(jī);生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;⑤包裝行業(yè):食品,、藥品,、生物制品等包裝設(shè)備;⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備,、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域,。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無油真空系統(tǒng)的配置。它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤,，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單,，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小,、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊,、整機(jī)尺寸小,，動(dòng)、靜渦旋盤之間,、動(dòng)盤與泵腔之間間隙小,，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損,，運(yùn)行平穩(wěn),，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小,，工作可靠性高,、壽命長(zhǎng)，易于維修,，維修費(fèi)用低,，容積效率高。采用空氣冷卻,，無需水冷,。
           渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速,，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的,，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小,，振動(dòng)噪聲低,，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。為實(shí)現(xiàn)渦旋泵有效工作的目的,，必須使渦旋型線在各個(gè)真空氣腔良好嚙合,，避免由于真空腔壓差大等因素導(dǎo)致渦旋壁受力情況惡化、產(chǎn)生熱變形,、排氣腔一部分高壓氣體滯留和真空泵效率降低等情況,。所以要保證渦旋型線之間的精確包容與嚙合，控制工作介質(zhì)的泄漏,，達(dá)到抽氣目的,。這是渦旋泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的重要依據(jù)。在泵的抽氣流道中,，無須使用任何油類和密封液體作為介質(zhì)，依靠動(dòng),、靜渦旋盤相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)形成吸氣腔和壓縮腔將被抽氣體排出,，連續(xù)完成吸氣,、壓縮和排氣過程。因此,，如何防止泄漏解決密封的問題尤為重要,。渦旋泵的密封主要包括軸向嚙合間隙的徑向密封，和徑向嚙合間隙的切向密封,，即齒側(cè)密封,。