VAD系列費斯托festo真空發(fā)生器鋁制殼體材質(zhì)

　　費斯托festo真空發(fā)生器根據(jù)自動機械的動作要求,，把若干個噴嘴,、擴張管副用串聯(lián)、并聯(lián)的混合方式連接起來,，用以實現(xiàn)大排氣量和高真空度的復合式真空發(fā)生器的結構如圖9 所示,。它的真空發(fā)生過程與串聯(lián)式的*相同。如果在結構上把兩列噴嘴,、擴張管副*隔離開,，用分配閥控制向兩列分別供氣、斷氣,，這樣復合式真空發(fā)生器就*具備大功率,、大排氣量、高真空度和高效率的特性,，應該說是比較理想的真空發(fā)生元件,。
　　但是，由于其體積增的羅茨泵和1臺抽速為70L/s的旋片泵組成,，由它完成對SFC高,、低真空室從大氣到70Pa的粗抽，也要完成對SFc 高真空室單獨抽至10Pa,。高真空系統(tǒng)由2臺抽速為1500L/s 的渦輪分子泵和1臺抽速150L/s的羅茨泵機組組成,。超高真空系統(tǒng)由2臺抽速為20000L/s的/HIRFL-800低溫泵和1臺抽速10000L/S的低溫泵組成。分子泵與低溫泵共同安裝在一個泵室中,，分子泵與低溫泵之間以及泵室與真空室之間分別由直徑為250mm和630mm 的超高真空閥門隔開,。從大氣抽至10Pa，大約需要20min,。從10Pa到E-3Pa 由高真空系統(tǒng)的分子泵完成,，約需要2h。當真空度優(yōu)于3e-3Pa 時,，低溫泵開始工作,。低溫泵工作10h后，在SFC真空室中心平面上可以獲得1.3E-5Pa的真空。
　　SFC真空室從安裝到完成測磁工作,，歷時6 個多月,。真空室長時間暴露于大氣之中，這樣對要想獲得1.3E-5Pa的真空度是較難的,。辦法就是烘烤,。但由于真空室安裝后，與磁鐵,、高頻腔部件,、注入引出元件、束診元件等都連接在一起,，再加上真空室形狀復雜,，所以用常規(guī)的加熱帶、烘烤燈等方法來加熱,，因受條件限制而無法實行,。進行分析后，決定采用熱水循環(huán)加熱的方法,，對真空室內(nèi)部的線圈,、覆面等那些在加速器運行時需要用冷卻水的部件，在抽空時先用熱水循環(huán),，進行烘烤,。
　　經(jīng)過計算，這部分部件在真空室中的表面積,，要占整個真空室內(nèi)表面積的75%,。加工了一套熱水循環(huán)系統(tǒng)，考慮到線圈是環(huán)氧澆鑄,，水溫應控制在80度左右,。經(jīng)過10h熱水循環(huán)烘烤后，真空度從10E-5Pa進入到10E-6Pa,，證明了這種烘烤方法是可行的,。

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