寶德BURKERT流量計(jì)幾點(diǎn)基本的產(chǎn)品介紹
　　在現(xiàn)代工業(yè)設(shè)備中,，壓力傳感器和檢測(cè)儀表是*的一部分,。壓力傳感器是一種把非電量轉(zhuǎn)變成電信號(hào)的器件，而檢測(cè)儀表在模擬電子技術(shù)條件下,，一般是包括傳感器,、檢測(cè)點(diǎn)取樣設(shè)備及放大器（進(jìn)行抗干擾處理及信號(hào)傳輸），當(dāng)然還有電源及現(xiàn)場(chǎng)顯示部分（可選擇）,，電信號(hào)一般為連續(xù)量、離散量?jī)煞N,，實(shí)際上還可分成模擬量,、開關(guān)量、脈沖量等,，模擬信號(hào)傳輸采用統(tǒng)一信號(hào)（4-20mADC等）,。數(shù)字化過(guò)程中，檢測(cè)儀表變化比較大,，經(jīng)過(guò)幾個(gè)階段,，近來(lái)多采用ASIC集成電路，而且把傳感器和微處理器及網(wǎng)絡(luò)接口封裝在一個(gè)器件中,，完成信息獲取,、處理、傳輸,、存貯等功能,。在自動(dòng)化儀表中經(jīng)常把檢測(cè)儀表稱為變送器，如問(wèn)題變送器,、壓力變送器等,。
　　寶德BURKERT流量計(jì)是工業(yè)實(shí)踐中為常用的種傳感器，而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的,，這樣的傳感器也稱為壓電傳感器,。   我們知道，晶體是各向異性的，非晶體是各向同性的,。某些晶體介質(zhì),，當(dāng)沿著定方向受到機(jī)械力作用發(fā)生變形時(shí)，就產(chǎn)生了極化效應(yīng),；當(dāng)機(jī)械力撤掉之后,，又會(huì)重新回到不帶電的狀態(tài)，也就是受到壓力的時(shí)候,，某些晶體可能產(chǎn)生出電的效應(yīng),，這就是所謂的極化效應(yīng)?？茖W(xué)家就是根據(jù)這個(gè)效應(yīng)研制出了壓力傳感器,。
　　寶德BURKERT流量計(jì)中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺,。其中石英（二氧化硅）是種天然晶體,，壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的，在定的溫度范圍之內(nèi),，壓電性質(zhì)直存在,，但溫度超過(guò)這個(gè)范圍之后，壓電性質(zhì)*消失（這個(gè)高溫就是所謂的“居里點(diǎn)”）,。由于隨著應(yīng)力的變化電場(chǎng)變化微?。ㄒ簿驼f(shuō)壓電系數(shù)比較低），所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代,。
　　壓力傳感器的歷史可追溯到70多年前,壓力傳感器以半導(dǎo)體傳感器的發(fā)明為標(biāo)志,，整個(gè)發(fā)展過(guò)程可以分為以下四個(gè)階段：
　　1、發(fā)明階段（1945-1960年）這個(gè)階段主要是以1947年雙極性晶體管的發(fā)明為標(biāo)志,。此后,，半導(dǎo)體材料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用。史密斯（C.S.Smith）與1945發(fā)現(xiàn)了硅與鍺的壓阻效應(yīng),，即當(dāng)有外力作用于半導(dǎo)體材料時(shí),，其電阻將明顯發(fā)生變化。依據(jù)此原理制成的壓力傳感器是把應(yīng)變電阻片粘在金屬薄膜上,，即將力信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)進(jìn)行測(cè)量,。此階段小尺寸大約為1cm。
　　2,、發(fā)展階段（1960-1970年）　隨著硅擴(kuò)散技術(shù)的發(fā)展,，技術(shù)人員在硅的（001）或（110）晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴(kuò)散在晶面上，然后在背面加工成凹形,，形成較薄的硅彈性膜片,，稱為硅杯,。這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕,、靈敏度高,、穩(wěn)定性好、成本低,、便于集成化的優(yōu)點(diǎn),，實(shí)現(xiàn)了金屬-硅共晶體，為商業(yè)化發(fā)展提供了可能,。

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　　3,、商業(yè)化階段（1970-1980年）在硅杯擴(kuò)散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù)，擴(kuò)散硅傳感器其加工工藝以硅的各項(xiàng)異性腐蝕技術(shù)為主,，發(fā)展成為可以自動(dòng)控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù),，主要有V形槽法、濃硼自動(dòng)中止法,、陽(yáng)極氧化法自動(dòng)中止法和微機(jī)控制自動(dòng)中止法,。由于可以在多個(gè)表面同時(shí)進(jìn)行腐蝕，數(shù)千個(gè)硅壓力膜可以同時(shí)生產(chǎn),，實(shí)現(xiàn)了集成化的工廠加工模式,，成本進(jìn)一步降低。
　　4,、微機(jī)械加工階段（1980年至今）上世紀(jì)末出現(xiàn)的納米技術(shù),，使得微機(jī)械加工工藝成為可能。通過(guò)微機(jī)械加工工藝可以由計(jì)算機(jī)控制加工出結(jié)構(gòu)型的壓力傳感器,，其線度可以控制在微米級(jí)范圍內(nèi)。利用這一技術(shù)可以加工,、蝕刻微米級(jí)的溝,、條、膜,，使得壓力傳感器進(jìn)入了微米階段,。
　　如今壓力傳感器應(yīng)用于各行各業(yè)，加之近年家用電器,、汽車,、信息產(chǎn)業(yè)三方面的飛速發(fā)展，對(duì)傳感器需求大增,，所以傳感器制造業(yè)發(fā)展很快,，形成獨(dú)立的產(chǎn)業(yè)，這就拉動(dòng)了工業(yè)設(shè)備,，特別是半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展,。