費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器清潔處理方法
　　費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器要求零件和部件表面潔凈度高,、沒有油污。研究在制造真空電子器件工藝過程中油污對電鍍,、釬焊和衰減材料涂覆的影響,。提出采用超聲加去油溶液的方式去除制管過程中的油污,，確定了費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器的清洗工藝,，保證其清潔性。降低器件表面的出氣率，保證陰極發(fā)射水平和電子槍的耐壓強(qiáng)度，提高器件的可靠性和使用壽命。
　　引言
　　隨著空間科學(xué)技術(shù)的發(fā)展及國防現(xiàn)代化軍事裝備的需要,，費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器必須具有高可靠、長壽命、低噪音,、寬頻帶,、大功率的特點(diǎn),，常應(yīng)用于地面,、艦載,、機(jī)載、衛(wèi)星通訊,、雷達(dá)、電子對抗,、制導(dǎo)等武器系統(tǒng)中,，其性能和質(zhì)量的優(yōu)劣對武器裝備的性能和質(zhì)量起至關(guān)重要的作用,，被譽(yù)為的戰(zhàn)略器件,。電子管是現(xiàn)代高技術(shù)電子裝備發(fā)展的關(guān)鍵與核心器件之一。
　　研究電真空零部件的表面清洗處理是很有必要,，因?yàn)槲廴疚锼斐傻臍怏w,、蒸氣源會使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度,。此外,，由于污染物的存在,，還會影響電真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能,，對費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器的性能有的影響,。
　　1,、費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器污染物的主要來源
　　(1)在加工原材料過程中,，所使用的潤滑油,；
　　(2)操作人員手上的臟物和唾液，因?yàn)樵谥圃熨M(fèi)斯托festo真空發(fā)生器，主要靠人力手動(dòng)完成裝配,，工作時(shí)不可避免的對零部件造成污染,；(3)去油過程中溶劑的殘余物,。例如：自來水中的鹽類和有機(jī)物質(zhì),，金屬零件使用的金屬去油劑等,；(4)零部件存放時(shí),，空氣中含有灰塵,、水蒸氣等,。
　　2,、油污對制造費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器的影響
　　(1)制造真空電子器件的工藝過程中，為了提高金屬零件之間的可焊性及管外零件的防腐性,，對部分管內(nèi)、外零件需要進(jìn)行電鍍處理，而電鍍工藝過程中，零件表面的油污必須去除干凈,，否則對鍍層會有影響，可使其起泡,、發(fā)花等,。
　　(2)在使用釬焊爐,、真空爐、氫氣爐,、烘排爐,，要求零部件表面干凈、沒有油污,。若零部件表面有油污會污染爐內(nèi)環(huán)境,，使真空度下降。零部件表面有油污會吸附氣體,，在整管完成后,，隨著真空器件的存儲放置時(shí)間，油污吸附的氣體會慢慢釋放,，使整管內(nèi)真空度下降,。超高真空系統(tǒng)中，做好材料表面的清潔處理,，可以使其放氣率降低幾個(gè)數(shù)量級,。不銹鋼在空氣中暴露，出氣體率為2.7×10-1Pa·L/(s·m2),，而經(jīng)過除油后抽4 h,，可降低到1.3×10-3 Pa·L/(s·m2)，經(jīng)過清洗后,，在250 ℃下烘烤15 h,，出氣率降到1.3×10-6 Pa·L/(s·m2)。

費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器清潔處理方法
　　(3)電真空焊料具有真空氣密性好,、耐熱沖擊性強(qiáng),、封接強(qiáng)度高。費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器的釬焊可焊接不同種類的金屬和合金零件，甚至能將金屬與陶瓷連接起來,，把微小的零件連接成大而復(fù)雜的部件,，同時(shí)可以保證零件的光潔度和精密尺寸。
　　焊料的質(zhì)量直接影響費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器焊縫及內(nèi)部質(zhì)量,。費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器焊接后,，經(jīng)過氦質(zhì)譜儀檢漏，漏氣速率要求達(dá)5×10-9 Pa·m3/s以下,。認(rèn)為如果費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器使用的焊料表面不潔凈,、有油污，使焊接材料表面的潤濕性和流散型不好,，焊料熔化后,，在焊縫表面會形成黑色的浮渣或黑斑，造成氣孔,，破壞焊縫的氣密性,，發(fā)生泄漏現(xiàn)象，影響費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器的真空性能,，造成費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器的慢性漏氣,，導(dǎo)致器件終失效報(bào)廢。
　　(4)通過對諧振腔加載降低其品質(zhì)因子,，在諧振腔壁和底部涂覆微波衰減材料是降低品質(zhì)因子的有效防范,。鐵硅鋁薄膜微波衰減材料是一種高性能微波衰減材料，可通過涂覆和燒結(jié)方法將其制備在無氧銅諧振腔壁上,，形成衰減涂層,。在涂覆前應(yīng)將無氧銅基底進(jìn)行毛化處理，并根據(jù)涂覆規(guī)范在諧振腔內(nèi)表面涂覆衰減材料,，涂覆后的工件在濕氫氣氛下進(jìn)行高溫?zé)Y(jié),。無氧銅基體需要確保表面沒有油污，才可進(jìn)行毛化處理,，而且處理后,，還需要再進(jìn)行一次去油污處理，之后才可在無氧銅基體表面涂覆衰減材料,。油污可以使衰減材料與基體結(jié)合力變差,，若零件表面有油污，導(dǎo)致在基體表面上涂覆衰減材料后,，燒結(jié)過后衰減材料可能發(fā)生脫落,，更嚴(yán)重的是可能費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器在使用一段時(shí)間后，無氧銅上的衰減材料發(fā)生脫落,，此時(shí)會造成更大的損失。
　　3、零件表面的物理化學(xué)清潔處理
　　對零件表面處理的方法有許多種,，但由于費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器工藝的特殊性,，實(shí)際可行的方法很少，大多是從經(jīng)驗(yàn)得來,，理論依據(jù)不足,，所以，即使比較典型的清潔方法,，也需要不斷的進(jìn)行修改和補(bǔ)充,。
　　在各種不同的清洗方法中，一般以化學(xué)處理為主,。在通常的化學(xué)處理不能得到很好的預(yù)期效果或者需要高度清潔的表面時(shí),，使用電加工，如電解,、電拋光,、電鍍等作為輔助辦法。帶有非皂化油的金屬零件經(jīng)過950 ℃高溫處理后,，接觸角沒有變化,，說明高溫處理不能夠提高零件的表面清潔度。通過對不同清洗方式的清洗效果比較,，提出使用超聲波清洗技術(shù),，超聲波儀器內(nèi)加入去油液體，加溫和超聲共同作用,，不但能去除零件表面油脂,，而且能去掉其他雜質(zhì)，尤其對精密復(fù)雜的零件更加有效,。
　　超聲清洗的具體工藝過程,，根據(jù)配方比例在超聲波中加入金屬清洗溶液，超聲頻率25 kHz,，溫度40~60 ℃,，超聲10~30 min，取出零件,，依次使用自來水和純水沖洗,。之后零件放入盛有丙酮的容器，把容器放入超聲波中,，超聲5~10 min,，取出零件，依次使用自來水和純水沖洗,，沖洗后使用酒精脫水,，后吹干放入氮?dú)夤駜?nèi),。
　　超聲波作用于清洗槽中的清洗液體時(shí)，由于交變壓力的撕拉現(xiàn)象,，產(chǎn)生真空泡,，其在負(fù)壓作用下迅速長大后又因強(qiáng)大壓力的壓劑作用而破滅。零件直接放入盛有金屬清洗劑的超聲波中,，加溫使液體的活化能力加強(qiáng),，降低黏度和表面張力與超聲空化協(xié)同作用，更加容易去除零件表面的油污和雜質(zhì),。取出零件后使用丙酮液體超聲5~10 min,，去除殘留在零件表面的金屬清洗液和油污。
　　為了保證清洗工作的成功,，除了使用正確的方法外,，認(rèn)為還必須保證盛化學(xué)用品的容器要非常干凈，特別是持取器件的工具更應(yīng)加以注意,。對于要求嚴(yán)格的零部件,，清洗后需要儲存在氮?dú)夤窕蛘婵蘸袃?nèi)，防止氧化和空氣中的灰塵,、雜質(zhì)吸附其表面,。在完成部件和整管裝配、焊接過程中,，保持良好的環(huán)境條件,，減少環(huán)境和人員對零部件表面的污染。
　　4,、結(jié)論
　　零部件表面的油污對制造費(fèi)斯托festo真空發(fā)生器的工藝有不可忽視的影響,，提出采用超聲波加去油溶液去除制造過程中的油污，超聲頻率25 kHz,，溫度40~60 ℃,，超聲10~30 min，取出零件,，依次使用自來水和純凈水沖洗,。之后零件放入盛有丙酮的容器中，把容器放入超聲波內(nèi),，超聲5~10 min,。零部件表面清潔度提高，降低出氣和漏氣率,，保證陰極發(fā)射水平和電子槍的耐壓水平,，提高速調(diào)管的可靠性和壽命。