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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> DM200-SE-全封閉顯影機(jī)
產(chǎn)品優(yōu)勢
·全封閉式顯影,,避免霧氣擴(kuò)散到外部,污染環(huán)境,。
·外殼噴塑,,耐腐蝕,易清洗,。
·內(nèi)腔鍍特氟龍,,光滑,耐腐蝕,,易清洗,。
·內(nèi)置真空過濾器,防止液體吸入真空泵,。
·真空壓力可調(diào),,壓力值實時顯示,。
·液體流量可調(diào),回吸可調(diào),。
產(chǎn)品參數(shù)
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圓晶)
·轉(zhuǎn)速分辨率:±1 RPM
·旋涂速度:20-3000rpm(空載)
·旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空載)
·工藝時間設(shè)定: 0-3,000sec/step,,時間設(shè)置精度: 0.1sec
·該機(jī)型適用于標(biāo)準(zhǔn)3路顯影機(jī)(1路洗衣液,1路純水,,1路氮氣)
·單步工藝及多步工藝可選,,內(nèi)置100組可編輯程序
·可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機(jī)或更大基片的顯影機(jī)。
設(shè)備配有一路顯影和一路水,、一路氣吹功能,,并且噴嘴位置可程控移動,實現(xiàn)自動顯影和清洗作業(yè),。
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