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DM200-SE-全封閉顯影機(jī)
  • DM200-SE-全封閉顯影機(jī)

貨物所在地:江蘇無錫市

更新時間:2025-02-13 21:00:07

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( 聯(lián)系我們,,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

全封閉顯影機(jī) 主要用于半導(dǎo)體制造中晶片的顯影工藝,,性價比高,穩(wěn)定性好,,重復(fù)性好,,對顯影作業(yè)有非常理想的效果。設(shè)備配有一路顯影和一路水,、一路氣吹功能,,并且噴嘴位置可程控移動,實現(xiàn)自動顯影和清洗作業(yè),。

產(chǎn)品優(yōu)勢

·全封閉式顯影,,避免霧氣擴(kuò)散到外部,污染環(huán)境,。

·外殼噴塑,,耐腐蝕,易清洗,。

·內(nèi)腔鍍特氟龍,,光滑,耐腐蝕,,易清洗,。

·內(nèi)置真空過濾器,防止液體吸入真空泵,。

·真空壓力可調(diào),,壓力值實時顯示,。

·液體流量可調(diào),回吸可調(diào),。


產(chǎn)品參數(shù)

支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圓晶)

·轉(zhuǎn)速分辨率:±1 RPM

·旋涂速度:20-3000rpm(空載)

·旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空載)

·工藝時間設(shè)定: 0-3,000sec/step,,時間設(shè)置精度: 0.1sec

·該機(jī)型適用于標(biāo)準(zhǔn)3路顯影機(jī)(1路洗衣液,1路純水,,1路氮氣)

·單步工藝及多步工藝可選,,內(nèi)置100組可編輯程序

·可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機(jī)或更大基片的顯影機(jī)。


設(shè)備配有一路顯影和一路水,、一路氣吹功能,,并且噴嘴位置可程控移動,實現(xiàn)自動顯影和清洗作業(yè),。



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