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產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1.全封閉式顯影,，避免霧氣擴(kuò)散到外部，污染環(huán)境,。

2.外殼噴塑,，耐腐蝕,，易清洗。

3.內(nèi)腔鍍特氟龍,，光滑,，耐腐蝕，易清洗,。

4.內(nèi)置真空過(guò)濾器,，防止液體吸入真空泵。

5.真空壓力可調(diào),，壓力值實(shí)時(shí)顯示,。

6.液體流量可調(diào)，回吸可調(diào),。

產(chǎn)品參數(shù)

支持wafer尺寸：碎片至200mm（8"圓晶）

1.轉(zhuǎn)速分辨率：±1 RPM

2.旋涂速度：20-3000rpm（空載）

3.旋涂加速度：10-10,000rpm/sec（空載）

4.工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000sec/step,，時(shí)間設(shè)置精度： 0.1sec

5.該機(jī)型適用于標(biāo)準(zhǔn)3路顯影機(jī)（1路洗衣液，1路純水,，1路氮?dú)猓?/span>

6.單步工藝及多步工藝可選,，內(nèi)置100組可編輯程序

7.可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機(jī)或更大基片的顯影機(jī)。

設(shè)備配有一路顯影和一路水,、一路氣吹功能,，并且噴嘴位置可程控移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)顯影和清洗作業(yè),。