晶圓映射傳感器 – 在狹隘的空間內(nèi)保障高精度

可集成到末端執(zhí)行器內(nèi)，非常適合晶圓映射

為滿足您的晶圓映射需求,，巴魯夫提供高精度光電傳感器,，可完美集成到末端執(zhí)行器內(nèi)。我們的映射傳感器經(jīng)過專門設(shè)計(jì),，適合極薄的末端執(zhí)行器,，傳感器的光斑均勻且受控性和聚光性*，因此,，該傳感器可識別甚至只有幾微米厚度的晶圓,，精度*。該傳感器能可靠識別整個卡槽,，重疊的晶圓或歪斜的晶圓能始終得到識別,。

映射傳感器基于光電Micromote技術(shù)，它將一個極小的光學(xué)傳感器頭與外部處理單元（放大器）組合到一起,，兩者通過高柔性電纜連接,。這意味著您可以將傳感器應(yīng)用于任何機(jī)械安裝方式，與其他Micromote傳感器一樣,。

特點(diǎn)

• 傳感器電纜非常緊湊,、柔韌性高
• 多功能傳感器頭
• 使用BAE外部放大器，靈活性好,，適用于各種應(yīng)用