美國霍尼韋爾Honeywell氣流傳感器行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

含微結(jié)構(gòu)技術(shù),，對空氣或其他氣體的流量、數(shù)量/方向提供敏感和快速回應(yīng),。

所有氣體質(zhì)量流量傳感器均通過熱交換運行——流動和壓差,。硅芯片設(shè)計源自薄膜、隔熱橋結(jié)構(gòu),，包含加熱和熱敏組件,。這可以對空氣或氣體流量和方向作出快速響應(yīng)，提供相應(yīng)的輸出電壓,。放大型能提供更強的輸出信號和更少的外部電路，而未放大型可選擇更多的外部電路,。

美國霍尼韋爾Honeywell氣流傳感器工作原理

熱線式：傳感器中有一根通電發(fā)熱的鉑金熱絲,，當(dāng)氣流通過時會帶走熱絲的熱量使其冷卻。ECM（發(fā)動機控制模塊）會控制電流保持熱線溫度恒定,，此時電流與進(jìn)氣量成正比,，通過檢測通電電流就能測量進(jìn)氣量。在實際應(yīng)用中,，熱線通常被納入惠斯通電橋電路,，利用其特性檢測電位差從而測量進(jìn)氣量。

熱膜式：與熱線式類似,，不過是將加熱元件換成了熱膜,。熱膜是在陶瓷基片上制成的金屬薄膜，具有響應(yīng)速度快,、測量精度高的特點,。當(dāng)氣流流經(jīng)熱膜時，熱膜溫度發(fā)生變化,，導(dǎo)致其電阻值改變,，通過測量電阻的變化來確定氣流的速度或流量。

霍尼韋爾提供：

芯片設(shè)計,、制造工藝和微結(jié)構(gòu)技術(shù)

加快響應(yīng)時間并實現(xiàn)更低的功耗

多種端口類型,，提供更高的應(yīng)用靈活性

霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為滿量程流量范圍及溫度補償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個數(shù)字界面,。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。

Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質(zhì)量流量,。

10 SLPM 至 300 SLPM

標(biāo)準(zhǔn)流量范圍為 10 SLPM,、15 SLPM、20 SLPM,、50 SLPM,、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM,，另具可定制化的流量范圍供您選擇,。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進(jìn)行全面的校準(zhǔn)和溫度補償。

大于 10 SLPM 的 HAF 系列在經(jīng)校準(zhǔn)的 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行補償,?；?ASIC 的補償能實現(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應(yīng)時間。

±50 SCCM 至 ±750 SCCM

標(biāo)準(zhǔn)流量范圍可在 ±50,、±100,、±200、±400 或 ±750 SCCM 下使用,。還提供自定義流量范圍,。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進(jìn)行全面的校準(zhǔn)和溫度補償。

HAF HAF 系列可以對0°C 至50 °C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍做出補償,，并且可以在 -20C 至70°C [-4°F 至 158°F] 的溫度范圍中工作,。基于 ASIC 的補償能實現(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應(yīng)時間,。

這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質(zhì)量流量,。它們由含有熱電阻微橋的微機電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上,。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計的氣流通道內(nèi),，提供對于流量的可重復(fù)響應(yīng)。

Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強的可靠性,、高準(zhǔn)確度,、可重復(fù)測量等性能，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應(yīng)用要求,。堅固外殼和穩(wěn)定基底相結(jié)合使得這些產(chǎn)品極其堅固耐用,。它們的設(shè)計與制造符合 ISO 9001 標(biāo)準(zhǔn)。