激光位移傳感器可精確非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位置,、位移等變化,，主要應(yīng)用于檢測(cè)物體的位移,、厚度,、振動(dòng),、距離,、直徑等幾何量的測(cè)量,。

按照測(cè)量原理,激光位移傳感器原理分為激光三角測(cè)量法和激光回波分析法,激光三角測(cè)量法一般適用于高精度,、短距離的測(cè)量，而激光回波分析法則用于遠(yuǎn)距離測(cè)量,，下面分別介紹激光位移傳感器原理的兩種測(cè)量方式,。

激光發(fā)射器通過(guò)鏡頭將可見(jiàn)紅色激光射向被測(cè)物體表面，經(jīng)物體表面散射的激光通過(guò)接收器鏡頭,，被內(nèi)部的CCD線性相機(jī)接收,，根據(jù)不同的距離，CCD線性相機(jī)可以在不同的角度下"看見(jiàn)"這個(gè)光點(diǎn),。根據(jù)這個(gè)角度及已知的激光和相機(jī)之間的距離,，數(shù)字信號(hào)處理器就能計(jì)算出傳感器和被測(cè)物體之間的距離,。

同時(shí)，光束在接收元件的位置通過(guò)模擬和數(shù)字電路處理,，并通過(guò)微處理器分析,，計(jì)算出相應(yīng)的輸出值，并在用戶設(shè)定的模擬量窗口內(nèi),，按比例輸出標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)信號(hào),。如果使用開(kāi)關(guān)量輸出，則在設(shè)定的窗口內(nèi)導(dǎo)通,，窗口之外截止,。另外，模擬量與開(kāi)關(guān)量輸出可獨(dú)立設(shè)置檢測(cè)窗口,。

采取三角測(cè)量法的激光位移傳感器最高線性度可達(dá)1um,，分辨率更是可達(dá)到0.1um的水平。比如ZLDS100類型的傳感器,，它可以達(dá)到0.01%高分辨率,，0.1%高線性度，9.4KHz高響應(yīng),，適應(yīng)惡劣環(huán)境,。

激光位移傳感器采用回波分析原理來(lái)測(cè)量距離以達(dá)到一定程度的精度。傳感器內(nèi)部是由處理器單元,、回波處理單元,、激光發(fā)射器、激光接收器等部分組成,。激光位移傳感器通過(guò)激光發(fā)射器每秒發(fā)射一百萬(wàn)個(gè)激光脈沖到檢測(cè)物并返回至接收器,，處理器計(jì)算激光脈沖遇到檢測(cè)物并返回至接收器所需的時(shí)間，以此計(jì)算出距離值,，該輸出值是將上千次的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行的平均輸出,。即所謂的脈沖時(shí)間法測(cè)量的。激光回波分析法適合于長(zhǎng)距離檢測(cè),，但測(cè)量精度相對(duì)于激光三角測(cè)量法要低,，最遠(yuǎn)檢測(cè)距離可達(dá)250m。