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真空泵在其工作壓強(qiáng)下,，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量,。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,，因而,，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái),，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦,，而三極型濺射離子泵,，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái),，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度,。

真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空,，有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用,。真空設(shè)備對(duì)油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵,，如：水環(huán)泵,、分子篩吸附泵、濺射離子泵,、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵,，加上一些防油污染措施,，如加冷阱、障板,、擋油阱等,，也能達(dá)到清潔真空要求。

真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場(chǎng)所,，周圍應(yīng)留有充分的余地,，便于檢查,、維護(hù)、保養(yǎng),。真空泵底座下應(yīng)保持地基水平,，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),，振動(dòng)小,。

真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對(duì)小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,，對(duì)小真空泵可采用真空膠管連接,，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少?gòu)濐^,。（焊接管路時(shí)應(yīng)清除管道中焊渣,，嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入真空泵腔。）