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進(jìn)來看看威海凈化車間做恒溫恒濕的原因

閱讀:281        發(fā)布時(shí)間:2023-5-25



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進(jìn)來看看威海凈化車間做恒溫恒濕的原因


說到恒溫恒濕空調(diào)機(jī)組通常用在有溫濕度控制或者面積不大的情況下,如果說工程面積大的話,,系統(tǒng)劃分比較多,空調(diào)機(jī)房位置相對(duì)分散,,管理和系統(tǒng)控制就會(huì)帶來不便,也不太利于能量統(tǒng)一分配,,浪費(fèi)能源,。


隨著生活水平的不斷提高,空氣潔凈度要求的提高,,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高,,必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。比如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小,。直徑100um的硅片,溫度上升1度,,就引起了0,。24um線性膨脹,所以必須有±0,。1度的恒溫,,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,,這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多,。相對(duì)濕度超過55%時(shí),,冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,,就會(huì)引起各種事故,。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。然而對(duì)于大部分潔凈空間,,為了防止外界污染侵入,,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。進(jìn)來看看威海凈化車間做恒溫恒濕的原因,,壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:


1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力,。


2.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。


3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力,。 壓力差的維持依靠新風(fēng)量,,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力,。


對(duì)于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,,而不直接用速度的概念,,不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求:


1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,,要求速度衰減更快,,擴(kuò)散角度更大。


2.吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,,以免吹起表面微粒重返氣流,,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0,。2m/s,。


在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的垂直平行流(層流)潔凈室≥0,。25m/s;水平平行流(層流)潔凈室≥0,。35m/s。



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青島潔凈凈化技術(shù)有限公司主要從事凈化工程的設(shè)計(jì),、無塵車間施工,、潔凈廠房檢測工程后期裝修、設(shè)計(jì)及空調(diào)通風(fēng)設(shè)備系統(tǒng)安裝,。公司設(shè)計(jì)承建各種不同類型的凈化廠房,、凈化車間,、無塵車間及無菌室,標(biāo)準(zhǔn)要求和GMP規(guī)格要求的潔凈廠房系統(tǒng)工程設(shè)計(jì),、制造,、安裝、調(diào)試,、檢測等綜合性成套服務(wù),。


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