控制溫度的目的可對威海凈化車間帶來好處
控制溫度的目的可對威海凈化車間帶來好處
凈化車間與普通車間不同之處就在于內(nèi)部的空氣質(zhì)量的潔凈度。濕度控制它是凈化車間生產(chǎn)必需具備的重要條件,,相對濕度是凈化車間,、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件,。
打比方在大型集成電路生產(chǎn)的光刻環(huán)光工藝中,玻璃和硅片作為掩膜板數(shù)據(jù)的熱膨脹系數(shù)的差異越來越小。直徑100um硅片,溫度上升1度,,導(dǎo)致0、24度um線性膨脹是必要的±0.恒溫1度,,共同要求濕度值較低,。因為人出汗,以后會污染產(chǎn)品,,尤其是怕鈉的半導(dǎo)體車間,,不會超過25度。濕度過高會導(dǎo)致更多的問題,。當(dāng)相對濕度超過55%時,,冷卻水管壁會結(jié)露,。如果發(fā)生在精密裝置或電路中,,會造成各種事故。當(dāng)相對濕度達到50%時,,很容易生銹,。但是,對于大多數(shù),,為了防止外部污染侵入,,需要保持內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。保持壓差一般應(yīng)符合以下原因:
控制溫度的目的可對威海凈化車間帶來好處
1.潔凈度等級高的空間壓力高于相鄰潔凈度等級低的空間壓力
2.相通潔凈室之間的門應(yīng)打開潔凈度等級高的房間
3.青島凈化車間的壓力高于非潔凈空間的壓力,。保持壓差取決于新風(fēng)量,,這應(yīng)該能夠補償在這種壓差下從縫隙漏出的風(fēng)量。因此,,壓差的物理含義是通過潔凈室各種縫隙泄漏或通風(fēng)時的阻力,。由于潔凈室主要依靠空氣的稀釋來減少室內(nèi)污染的程度,主要采用通風(fēng)次數(shù)的概念,,而不是直接采用速度的概念,,但對室內(nèi)氣流速度也有以下要求:
1.出風(fēng)口氣流速度不直太大,與簡單的空調(diào)房相比,,速度衰減更快,,擴散角度更大,。
2.吹水平面的氣流速度(如側(cè)送時的回流速度)不直太大,以免吹出表面顆?;亓?,造成再污染。這個速度一般不直干0.2m/s,。
青島潔凈凈化技術(shù)有限公司主要從事凈化工程的設(shè)計,、無塵車間施工、潔凈廠房檢測工程后期裝修,、設(shè)計及空調(diào)通風(fēng)設(shè)備系統(tǒng)安裝,。公司設(shè)計承建各種不同類型的凈化廠房、凈化車間,、無塵車間及無菌室,,標(biāo)準(zhǔn)要求和GMP規(guī)格要求的潔凈廠房系統(tǒng)工程設(shè)計、制造,、安裝,、調(diào)試、檢測等綜合性成套服務(wù),。
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