威海無塵車間裝修完工后的案例環(huán)境要求
威海無塵車間裝修完工后的案例環(huán)境要求
下面青島潔凈凈化技術小編列舉一項某公司的無塵車間工程內(nèi)容:
項目名稱:威海某半導體有限公司(由于考慮到客戶隱私,,所以小編以某公司代替,望諒解)
項目地點:威海
建筑面積:1000平方米
凈化等級:10萬級
半導體凈化車間潔凈度等級標準及要求半導體特性決定其制造過程必須有潔凈度要求,,環(huán)境中雜質(zhì)對半導體的特性有著改變或破壞其性能的作用,而雜質(zhì)各式各樣,,如金屬離子會破壞半導體器件的導電性能,,塵埃粒子破壞半導體器件的表面結構等,所以在半導體器件生產(chǎn)過程中對什么都必須嚴格控制,。它可以即時檢測到單位體積空氣中的顆粒物數(shù)量,還能實現(xiàn)7*24實時遠程自動監(jiān)測,,并以其快速,、準確的特點,在電子行業(yè),、制藥車間、半導體,、光學或精密機械加工等潔凈室環(huán)境自動監(jiān)測系統(tǒng)中得到了廣泛的應用,。
潔凈室耗能為一般系統(tǒng)之5~10倍,在國內(nèi)自產(chǎn)能源匱乏且面臨能源消耗日益嚴重的情況下,,如何提升無塵室系統(tǒng)的節(jié)能技術,以提升生產(chǎn)力與競爭力,,是我們必須面對的課題,。另外對潔凈廠房的潔凈度進行定期的人工巡檢存在人力資源浪費的缺點,為了克服人工檢測耗時費力的缺點,,我們可以采用CW-RPC系列多通道遠程遙測激光塵埃粒子計數(shù)器及遠程監(jiān)控系統(tǒng)對潔凈廠房進行7*24實時準確的精準監(jiān)測,能夠極大的提升我們的工作效率,,節(jié)省人力成本,。
威海無塵車間裝修完工后的案例環(huán)境要求有幾點:
1.內(nèi)部要保持大于一大氣壓的環(huán)境,以確保粉塵只出不進,。所以需要大型鼓風機,將經(jīng)濾網(wǎng)的空氣源源不絕地打入潔凈室中,。
2.為保持溫度與濕度的恒定,,大型空調(diào)設備須搭配于前述之鼓風加壓系統(tǒng)中,。換言之,鼓風機加壓多久,,冷氣空調(diào)也開多久,。
3.所有氣流方向均由上往下為主,盡量減少突兀之室內(nèi)空間設計或機臺擺放調(diào)配,,使粉塵在潔凈室內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至低程度,。
4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。
5.所有人事物進出,,都必須經(jīng)過空氣吹浴的程序,將表面粉塵先行去除,。
6.人體及衣物的毛屑是一項主要粉塵來源,,為此務必嚴格要求進出使用人員穿戴無塵衣,除了眼睛部位外,,均需與外界隔絕接觸 (在次微米制程技術的工廠內(nèi),工作人員幾乎穿戴得像航天員一樣,。) 當然,,化妝是在禁絕之內(nèi),鉛筆等也禁止使用,。
7.除了空氣外,,水的使用也只能限用去離子水,。一則防止水中粉粒污染晶圓,,二則防止水中重金屬離子,,如鉀、鈉離子污染金氧半 (MOS) 晶體管結構之帶電載子信道,,影響半導體組件的工作特性,。去離子水以電阻率來定義好壞,一般要求至17.5MΩ-cm以上才算合格,;為此需動用多重離子交換樹脂,、RO逆滲透、與UV紫外線殺菌等重重關卡,,才能放行使用。由于去離子水是的溶劑與清潔劑,,其在半導體工業(yè)之使用量極為驚人,!
8.潔凈室所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,,都得使用氮氣 (98%),,吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮,!
青島潔凈凈化技術有限公司主要從事凈化工程的設計,、無塵車間施工、潔凈廠房檢測工程后期裝修,、設計及空調(diào)通風設備系統(tǒng)安裝,。公司設計承建各種不同類型的凈化廠房,、凈化車間,、無塵車間及無菌室,標準要求和GMP規(guī)格要求的潔凈廠房系統(tǒng)工程設計,、制造,、安裝、調(diào)試,、檢測等綜合性成套服務。
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