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真空機器人是一種在真空下工作的機器人，主要應用于半導體工業(yè)中,，實現晶圓在真空腔室內的傳輸,。真空機械手難進口、受,、用量大,、通用性強，其成為制約了半導體裝備整機的研發(fā)進度和整機產品競爭力的關鍵部件,。而且國外對買家嚴加,，歸屬于禁運產品目錄，真空機械手已成為嚴重制約我國半導體設備整機裝備制造的“卡脖子”問題,。直驅型真空機器人技術屬于原始創(chuàng)新技術,。
關鍵技術包括：
(1)真空機器人新構型設計技術：通過結構分析和設計，設計新構型真空機器人對剛度和伸縮比的要求,；
(2)大間隙真空直驅電機技術：涉及大間隙真空直接驅動電機和高潔凈直驅電機開展電機理論分析,、結構設計、制作工藝、電機材料表面處理,、低速大轉矩控制,、小型多軸驅動器等方面。
(3)真空下的多軸精密軸系的設計,。采用軸在軸中的設計,，減小軸之間的不同心以及慣量不對稱的問題。
(4)動態(tài)軌跡修正技術：通過傳感器信息和機器人運動信息的融合,，檢測出晶圓與之間基準位置之間的偏移,，通過動態(tài)修正運動軌跡，機器人準確地將晶圓從真空腔室中的一個工位傳送到另一個工位,。
(5)符合SEMI的真空機器人語言：根據真空機器人搬運要求,、機器人作業(yè)特點及SEMI，完成真空機器人語言,。
(6)可靠性工程技術：在IC制造中,，設備故障會帶來巨大的損失。根據半導體設備對MCBF的高要求,，對各個部件的可靠性進行,、評價和控制，機械手各個部件的可靠性,，從而機械手IC制造的高要求,。