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真空機(jī)器人是一種在真空下工作的機(jī)器人，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中,，實(shí)現(xiàn)晶圓在真空腔室內(nèi)的傳輸,。真空機(jī)械手難進(jìn)口、受,、用量大、通用性強(qiáng),，其成為制約了半導(dǎo)體裝備整機(jī)的研發(fā)進(jìn)度和整機(jī)產(chǎn)品競爭力的關(guān)鍵部件,。而且國外對買家嚴(yán)加，歸屬于禁運(yùn)產(chǎn)品目錄,，真空機(jī)械手已成為嚴(yán)重制約我國半導(dǎo)體設(shè)備整機(jī)裝備制造的“卡脖子”問題,。直驅(qū)型真空機(jī)器人技術(shù)屬于原始創(chuàng)新技術(shù)。
關(guān)鍵技術(shù)包括：
(1)真空機(jī)器人新構(gòu)型設(shè)計(jì)技術(shù)：通過結(jié)構(gòu)分析和設(shè)計(jì),，設(shè)計(jì)新構(gòu)型真空機(jī)器人對剛度和伸縮比的要求,；
(2)大間隙真空直驅(qū)電機(jī)技術(shù)：涉及大間隙真空直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)和高潔凈直驅(qū)電機(jī)開展電機(jī)理論分析、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),、制作工藝,、電機(jī)材料表面處理、低速大轉(zhuǎn)矩控制,、小型多軸驅(qū)動(dòng)器等方面,。
(3)真空下的多軸精密軸系的設(shè)計(jì)。采用軸在軸中的設(shè)計(jì),，減小軸之間的不同心以及慣量不對稱的問題,。
(4)動(dòng)態(tài)軌跡修正技術(shù)：通過傳感器信息和機(jī)器人運(yùn)動(dòng)信息的融合，檢測出晶圓與之間基準(zhǔn)位置之間的偏移,，通過動(dòng)態(tài)修正運(yùn)動(dòng)軌跡,，機(jī)器人準(zhǔn)確地將晶圓從真空腔室中的一個(gè)工位傳送到另一個(gè)工位。
(5)符合SEMI的真空機(jī)器人語言：根據(jù)真空機(jī)器人搬運(yùn)要求,、機(jī)器人作業(yè)特點(diǎn)及SEMI,，完成真空機(jī)器人語言。
(6)可靠性工程技術(shù)：在IC制造中,，設(shè)備故障會(huì)帶來巨大的損失,。根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備對MCBF的高要求，對各個(gè)部件的可靠性進(jìn)行,、評價(jià)和控制,，機(jī)械手各個(gè)部件的可靠性，從而機(jī)械手IC制造的高要求。