西門子6ES7193-4CL30-0AA0西門子6ES7193-4CL30-0AA0

真空機(jī)器人是一種在真空下工作的機(jī)器人,，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中，實(shí)現(xiàn)晶圓在真空腔室內(nèi)的傳輸,。真空機(jī)械手難進(jìn)口,、受、用量大,、通用性強(qiáng),，其成為制約了半導(dǎo)體裝備整機(jī)的研發(fā)進(jìn)度和整機(jī)產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵部件。而且國(guó)外對(duì)買家嚴(yán)加,，歸屬于禁運(yùn)產(chǎn)品目錄,，真空機(jī)械手已成為嚴(yán)重制約我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備整機(jī)裝備制造的“卡脖子”問(wèn)題。直驅(qū)型真空機(jī)器人技術(shù)屬于原始創(chuàng)新技術(shù),。
關(guān)鍵技術(shù)包括：
(1)真空機(jī)器人新構(gòu)型設(shè)計(jì)技術(shù)：通過(guò)結(jié)構(gòu)分析和設(shè)計(jì),，設(shè)計(jì)新構(gòu)型真空機(jī)器人對(duì)剛度和伸縮比的要求,；
(2)大間隙真空直驅(qū)電機(jī)技術(shù)：涉及大間隙真空直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)和高潔凈直驅(qū)電機(jī)開(kāi)展電機(jī)理論分析,、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、制作工藝,、電機(jī)材料表面處理,、低速大轉(zhuǎn)矩控制、小型多軸驅(qū)動(dòng)器等方面,。
(3)真空下的多軸精密軸系的設(shè)計(jì),。采用軸在軸中的設(shè)計(jì)，減小軸之間的不同心以及慣量不對(duì)稱的問(wèn)題,。
(4)動(dòng)態(tài)軌跡修正技術(shù)：通過(guò)傳感器信息和機(jī)器人運(yùn)動(dòng)信息的融合,，檢測(cè)出晶圓與之間基準(zhǔn)位置之間的偏移，通過(guò)動(dòng)態(tài)修正運(yùn)動(dòng)軌跡,，機(jī)器人準(zhǔn)確地將晶圓從真空腔室中的一個(gè)工位傳送到另一個(gè)工位,。
(5)符合SEMI的真空機(jī)器人語(yǔ)言：根據(jù)真空機(jī)器人搬運(yùn)要求,、機(jī)器人作業(yè)特點(diǎn)及SEMI，完成真空機(jī)器人語(yǔ)言,。
(6)可靠性工程技術(shù)：在IC制造中,，設(shè)備故障會(huì)帶來(lái)巨大的損失。根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)MCBF的高要求,，對(duì)各個(gè)部件的可靠性進(jìn)行,、評(píng)價(jià)和控制，機(jī)械手各個(gè)部件的可靠性,，從而機(jī)械手IC制造的高要求,。