測試方法

真空度測試常見的有破壞性測試方法和無損檢測方法,。

破壞性測試方法常見的是采用針頭刺入容器頂空，通過壓力（真空度）傳感器探測獲取真空度,，該測試方法在一定程度上會受到管路中空氣的影響,，可以用于真空度的粗略抽查，在小頂空容器中表現(xiàn)尤為明顯,。典型的應(yīng)用是用于粗略的進行密閉容器完整性測試（CCIT）評估,，方法是將高真空的西林瓶（抽真空到接近0.1mbar）留樣半年到1年，然后觀察瓶內(nèi)真空度,。如果里面還有一定真空度,，即里面的壓力是微負壓，說明瓶子是不漏的,；相反,，如果里面的壓力是常壓,，說明瓶子是漏的。

如果是用于工藝的優(yōu)化和標準的制定,，通常會采用無損的真空度測試方法,。無損的真空度測試方法常見的是激光法（即調(diào)頻光譜法（FMS）），它的基本原理是空氣中的O2,、水汽,、CO2會在一定波段下有激光吸收，并且會得到吸收的圖譜,吸收的激光量(在圖中是峰高或振幅)和物質(zhì)的含量成正比,，其中水汽的激光吸收圖譜中的峰寬（波峰和波谷之間的橫向距離）和頂空總壓力成正比,。因此，采用激光法能夠?qū)θ萜鬟M行無損真空度測試,。激光法對真空度的小檢出限大約為7mbar,，因此能測試出接近真實的真空度。

技術(shù)參數(shù)

1. 真空度測量范圍: 9.999×10-1~1×10-5

2. 離子電流測量范圍: 9.999×10-1~1×10-7

3. 測量誤差: <10%

4. 測量分辨率: 10-5pa

5. 允許環(huán)境溫度: -20℃~50℃

6.真空度測試儀/真空儀 空氣濕度: ≤80%RH

7. 電源: AC/220V/50Hz±10%

8. 外型尺寸: 420×290×210(mm)

9. 高壓輸出: 脈沖30kV15kHz

注意事項

1,、真空度測試儀/真空儀,，該儀器屬精密儀器，電路板布線密度較大,，一般要求存放于較干燥的地方,。若環(huán)境較潮濕，則應(yīng)經(jīng)常通電,。

2,、若測試后電流值顯示為零，應(yīng)檢查滅弧室表面是否清潔,。因為表面不清潔可能使漏電的變化值大于電離電流值,，這樣，測量值減去漏電后小于零,，而被儀器判為零,。發(fā)生這種情況后，將滅弧室表面檫干凈,，再做試驗,，一般來說這樣得到的真空度值較精確。

3,、使用時,，高壓輸出線不得觸及人體，以防觸電,。

4,、高壓指示燈亮?xí)r，不要觸及高壓線和磁控電流線,，以防觸電,。

5,、拆裝打印紙在儀器先斷電的情況下進行，以免損壞打印機,。換紙時,，將前面板打開，用食指和拇指捏緊打印機兩端的兩夾片輕輕拖出打印機,，使出紙口略高于儀器面板,，但不能拖出距離太大，將新紙端口部分剪成尖頭狀,，插入打印機的進紙口,，打開儀器電源開關(guān)，按下打印鍵,，使紙從打印機的上端走出一段距離,，插入面板出口縫導(dǎo)出。蓋好打印機面板,，裝紙完畢,。

6、本儀器無任何用戶可維修的部件,如出現(xiàn)故障,請專業(yè)人員維修,或與供應(yīng)商聯(lián)系,切勿擅自打開儀器,以免發(fā)生意外或造成不必要的損失,。

7,、本儀器真空度測量范圍在9.999×10-1~1×10-5之間,離子電流測量范圍在9.999×10-1~1×10-7之間，當真空管的真空度大于10-2 Pa或離子電流大于500uA時建議該真空管報廢,。

8,、若真空管內(nèi)壓力等于大氣壓(即真空管破損)，本儀器測量范圍內(nèi), 本儀器則拒絕檢測,，返回初始狀態(tài),。

(注:擊穿后，儀器有可能出現(xiàn)顯示不正常,，此時,，按"復(fù)位鍵",，儀器回到正常狀態(tài),。)