化工儀器網(wǎng)
技術(shù)文章
激光測量平面度的方法
閱讀：4107 發(fā)布時(shí)間：2020-8-24
激光測量平面度的方法
平面度,，是屬于形位公差中的一種,，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統(tǒng)的檢測方法中,，平面度的測量通常有：塞規(guī)/塞尺測量法,、液平面法、激光平面干涉儀測量法（平晶干涉法）,、水平儀/數(shù)字水平儀測量法,、以及打表測量法。
塞尺測量法,，只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時(shí)隨地進(jìn)行平面度的粗測,。目前很多工廠仍使用該方法進(jìn)行檢測。由于其精度不高,，常規(guī)塞尺為10um,，檢測效率較低，結(jié)果不夠全面,，只能檢測零件邊緣。
液平面法,，基于連通器工作原理,，適合測量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度，但測量時(shí)間長,，且對溫度敏感,，僅適用于測量精度較低的平面。
激光平面干涉儀測量法,，典型的用法是平晶干涉法,。但主要于測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面,，量規(guī)的工作面,，光學(xué)透鏡。
水平儀測量法,，廣泛用于工件表面的直線度和平面度測量,。測量精度高、穩(wěn)定性好,、體積小,、攜帶方便,。但是用該方法測量時(shí)需要反復(fù)挪動儀器位置，記錄各測點(diǎn)的數(shù)據(jù),，費(fèi)時(shí),、費(fèi)力，調(diào)整時(shí)間長,，數(shù)據(jù)處理程序繁瑣,。
打表測量法，典型應(yīng)用為平板測微儀及三坐標(biāo)儀,，其中優(yōu)以三坐標(biāo)儀為應(yīng)用廣泛,。測量時(shí)指示器在待測樣品上移動，按選定的布點(diǎn)測取各測量點(diǎn)相對于測量基準(zhǔn)的數(shù)據(jù),，再經(jīng)過數(shù)據(jù)處理評定出平面度誤差,。但其效率較低，通常一個(gè)樣品需要幾分鐘,，離15ppm的期望相差甚遠(yuǎn),。
我們可以提供激光測量平面度的方法，利用德國lamtech激光平面度測量儀,，可以快速測量平面度,，如航空航天，汽車工業(yè)噴油嘴行業(yè),，泵,、閥門密封件表面，以及光學(xué)工程,，激光工程等領(lǐng)域都有應(yīng)用,。
該激光測量平面度的方法測量效率高，精度高,，檢測一個(gè)只要1-3秒,，可以實(shí)現(xiàn)100%全檢。