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【技術(shù)】線色譜傳感器—高速下的高精度
閱讀：2390 發(fā)布時(shí)間：2020-3-12
WERTH為2017年Control展隆重推出研發(fā)的傳感器系列：線色譜傳感器（Chromatic Focus Line Sensor, CFL）。其可以快速采集整個(gè)零件的幾何形狀。通過(guò)選用不同的物鏡，調(diào)節(jié)測(cè)量誤差和測(cè)量范圍來(lái)適應(yīng)各種應(yīng)用需求。通過(guò)大的軸向測(cè)量范圍，不需要針對(duì)零件幾何形狀的可控的補(bǔ)充,。以便通過(guò)掃描，快速并大面積獲取零件幾何形狀,。針對(duì)表面有明顯高度變化的零件可以采用3D仿樣進(jìn)行掃描,。線色譜傳感器可以用于測(cè)量漫反射、鏡面和透明零件以及有較大傾斜角的零件表面,。
CFL在零件表面投影一排約200個(gè)白色光點(diǎn),。從零件表面反射回的光線將通過(guò)光譜分析，確定傳感器和零件表面之間的距離,。通過(guò)新的線傳感器*次實(shí)現(xiàn)了高速并且高精度地,、完整地采集零件3D數(shù)據(jù)。僅僅用3秒鐘就能夠測(cè)量100萬(wàn)個(gè)測(cè)量點(diǎn),。
線色譜傳感器還具有另一個(gè)有趣的功能：反射回的光的波長(zhǎng)強(qiáng)度被分析評(píng)估,，并創(chuàng)建零件表面的柵格圖像。其后續(xù)的分析評(píng)估允許通過(guò)圖像處理軟件“在圖像內(nèi)”確定零件坐標(biāo)系或者測(cè)量幾何特征,。在此基礎(chǔ)上,，由于位置的確定，可以不需要傳感器轉(zhuǎn)換就使用各種其他傳感器進(jìn)行測(cè)量,。
在快速的測(cè)量速度下,，CFL的測(cè)量度允許測(cè)量精密零件和微特征。該傳感器不僅可以用于鏡面或者透明零件如沖壓印?；蛘哂操|(zhì)合金及金剛石刀具的測(cè)量,，也可以用于漫反射的塑料零件的測(cè)量。通過(guò)高點(diǎn)密度來(lái)確定不同表面的形貌,。例如微機(jī)械零件手表表盤,。CFL的另一個(gè)典型應(yīng)用是在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，在生產(chǎn)工序中,，對(duì)于LED陣列的共面的測(cè)量,。作為測(cè)量結(jié)果，是以點(diǎn)云的形式體現(xiàn)零件表面的完整形狀,，借此測(cè)量平面度或者粗糙度以及幾何元素,。也可以用顏色編碼顯示出理論實(shí)際值偏差。
線色譜傳感器測(cè)量的點(diǎn)云數(shù)據(jù)和CAD模型的顏色編碼偏差顯示
手表表盤的柵格圖像