化工儀器網(wǎng)
詳細(xì)介紹
主要特點(diǎn)
|
|
|
|
|
詳細(xì)說(shuō)明
AIXTRON機(jī)臺(tái)測(cè)溫儀EX-C-7FL系BASF生產(chǎn)的高精度藍(lán)寶石光管高溫計(jì),，被用作用作AIXTRON G3,G4,G5 MOCVD機(jī)臺(tái)底部的測(cè)溫系統(tǒng)(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR),。
AIXTRON機(jī)臺(tái)測(cè)溫儀EX-C-7FL包含EI110傳感器,，光纖,，藍(lán)寶石光管,，IFD5數(shù)字模塊,，IFA5模擬模塊，配套線纜等,，測(cè)溫范圍覆蓋100-1800℃,，精度高達(dá)1.5℃, 重復(fù)性0.1℃。
BASF Exactus®系列測(cè)溫儀已廣泛用于快速退火,、快速氧化,、薄膜沉積等半導(dǎo)體工藝，并被集成在多家MOCVD設(shè)備以及其他RTP設(shè)備上如：AIXTRON,， LPE,，Premtek等。另外,，由于其具有很高的測(cè)溫精度和穩(wěn)定性,，也被一些高溫黑體爐廠家作為溫度標(biāo)準(zhǔn)器使用，如Thermogauge公司,。
典型應(yīng)用
|
|
|
|
技術(shù)參數(shù)
| 測(cè)量參數(shù) | |
|---|---|
| 溫度范圍: | 100 – 1800℃ |
| 工作波長(zhǎng): | 1550nm |
| 測(cè)量精度: | 優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測(cè)值 |
| 分辨率: | 最高0.01℃ |
| 重復(fù)精度: | 0.1℃ |
| 溫度漂移: | 最大 0.10℃/年 環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度 |
| 鏡頭: | 藍(lán)寶石光管 |
| 物理參數(shù) | |
|---|---|
| 供電: | 12-28 VDC, 3W |
| 存儲(chǔ)溫度: | -20 to 70℃ |
| 環(huán)境溫度: | 電子器件: 0 - 60℃ |
| 外殼材質(zhì): | 傳感器和鏡頭外殼,，304 不銹鋼/鋁； 氣吹外殼,，鋁,； 惡劣環(huán)境專用鏡頭: 304 不銹鋼； |
| 重量: | 標(biāo)準(zhǔn)高溫計(jì)，0.510 kg (1.125 lbs.) 光纖傳感器,，0.198 kg (7 oz.) |
化工儀器網(wǎng)