本文轉(zhuǎn)載自微信公眾號：中國科大理化科學實驗中心
近日,，中國科學技術(shù)大學理化科學實驗中心新安裝了國儀量子自主研制的超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X,。目前，該設(shè)備已完成前期調(diào)試,，即將投入試運行,。
中國科學技術(shù)大學理化科學實驗中心是中國科學技術(shù)大學公共技術(shù)創(chuàng)新平臺實驗中心之一,，從1979年開始籌建,。中心以“集中投入、統(tǒng)一管理,、開放公用,、資源共享"為建設(shè)原則，以建立條件優(yōu)良,、功能配套,、管理規(guī)范,、先進高效的優(yōu)質(zhì)資源和共享機制為建設(shè)目標，為培養(yǎng)創(chuàng)新人才和開展高水平科學研究工作提供技術(shù)支撐,，為社會經(jīng)濟建設(shè)提供技術(shù)保障,。作為學校最早建成的大型儀器開放平臺，中心不僅承擔著相關(guān)院系,、國家研究中心,、國家重點實驗室，省部級實驗室以及國家,、省部級等各類科研項目的技術(shù)支持分析測試任務(wù),，同時，也對相關(guān)學科提供教學,、科研實驗條件與環(huán)境,。
SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡,，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV,。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級,，實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升,。全新設(shè)計的樣品倉，擴展接口增加至16個,，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm）,，極大擴展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強,，帶來了更強的性能和更好的體驗,。
產(chǎn)品優(yōu)勢
超高分辨率成像,，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景
高精度機械優(yōu)中心樣品臺,、超穩(wěn)定性的機架減震設(shè)計,，可搭配整體罩殼設(shè)計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響
最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,，滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求
應(yīng)用案例
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