首頁(yè) >> 公司動(dòng)態(tài) >> 2024量子精密測(cè)量賦能產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)誠(chéng)邀參會(huì),！5月21日，第三屆量子科儀節(jié)與您合肥相約
本文轉(zhuǎn)載自微信公眾號(hào)：中國(guó)科大理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心
近日,，中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心新安裝了國(guó)儀量子自主研制的超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X,。目前，該設(shè)備已完成前期調(diào)試,，即將投入試運(yùn)行,。
中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心是中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)公共技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)實(shí)驗(yàn)中心之一,，從1979年開(kāi)始籌建,。中心以“集中投入、統(tǒng)一管理,、開(kāi)放公用,、資源共享"為建設(shè)原則,，以建立條件優(yōu)良、功能配套,、管理規(guī)范,、先進(jìn)高效的優(yōu)質(zhì)資源和共享機(jī)制為建設(shè)目標(biāo)，為培養(yǎng)創(chuàng)新人才和開(kāi)展高水平科學(xué)研究工作提供技術(shù)支撐,，為社會(huì)經(jīng)濟(jì)建設(shè)提供技術(shù)保障,。作為學(xué)校最早建成的大型儀器開(kāi)放平臺(tái)，中心不僅承擔(dān)著相關(guān)院系,、國(guó)家研究中心,、國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，省部級(jí)實(shí)驗(yàn)室以及國(guó)家,、省部級(jí)等各類科研項(xiàng)目的技術(shù)支持分析測(cè)試任務(wù),，同時(shí)，也對(duì)相關(guān)學(xué)科提供教學(xué),、科研實(shí)驗(yàn)條件與環(huán)境,。
SEM5000X是一款超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,，其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV,。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級(jí),，實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升,。全新設(shè)計(jì)的樣品倉(cāng)，擴(kuò)展接口增加至16個(gè),，快速換樣倉(cāng)最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm）,，極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級(jí)掃描模式和自動(dòng)功能增強(qiáng),，帶來(lái)了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn),。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
超高分辨率成像,，達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
樣品臺(tái)減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場(chǎng)景
高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺(tái),、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計(jì),，可搭配整體罩殼設(shè)計(jì)，極大減弱環(huán)境對(duì)極限分辨率的影響
最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉(cāng),，滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求
應(yīng)用案例
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