掃描電子顯微鏡SEM的基本知識,，一定要了解
在材料領域中,，掃描電鏡技術發(fā)揮著極其重要的作用，被廣泛應用于各種材料的形態(tài)結構,、界面狀況,、損傷機制及材料性能預測等方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產(chǎn)生過程,，可以觀察金屬材料內(nèi)部原子的集結方式和它們的真實邊界,，也可以觀察在不同條件下邊界移動的方式，還可以檢查晶體在表面機械加工中引起的損傷和輻射損傷等,。
掃描電鏡的結構及主要性能
掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統(tǒng)兩部分,。鏡體部分由電子光學系統(tǒng)、信號收集和顯示系統(tǒng)以及真空抽氣系統(tǒng)組成,。
1,、電子光學系統(tǒng)
由電子槍，電磁透鏡,，掃描線圈和樣品室等部件組成,。其作用是用來獲得掃描電子束，作為信號的激發(fā)源,。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率,，掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
2,、信號收集及顯示系統(tǒng)
檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號,，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調制信號。現(xiàn)在普遍使用的是電子檢測器,，它由閃爍體,，光導管和光電倍增器所組成。
3,、真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學系統(tǒng)正常工作,，防止樣品污染，一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。
4,、電源系統(tǒng)
電源系統(tǒng)由穩(wěn)壓,，穩(wěn)流及相應的安全保護電路所組成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源,。
5,、各類顯微鏡主要性能的比較
掃描電鏡由電子槍發(fā)射出來的電子束，在加速電壓的作用下,，經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚,，形成直徑為5nm，經(jīng)過二至三個電磁透鏡所組成的電子光學系統(tǒng),，電子束會聚成一個細的電子束聚焦在樣品表面,。在末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下使電子束在樣品表面掃描,。
由于高能電子束與樣品物質的交互作用,，結果產(chǎn)生了各種信息：二次電子、背反射電子,、吸收電子、X射線,、俄歇電子,、陰極發(fā)光和透射電子等。這些信號被相應的接收器接收,，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上,，調制顯像管的亮度。由于經(jīng)過掃描線圈上的電流是與顯像管相應的亮度一一對應,，也就是說,，電子束打到樣品上一點時，在顯像管熒光屏上就出現(xiàn)一個亮點,。
掃描電鏡就是這樣采用逐點成像的方法,，把樣品表面不同的特征，按順序,，成比例地轉換為視頻信號,，完成一幀圖像，從而使我們在熒光屏上觀察到樣品表面的各種特征圖像,。
6
立即詢價
您提交后,，專屬客服將第一時間為您服務