掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用,。當一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子,、俄歇電子,、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子,、透射電子,，以及在可見、紫外,、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射,。同時，也可產(chǎn)生電子-空穴對,、晶格振動 （聲子）,、電子振蕩 （等離子體）。原則上講,，利用電子和物質(zhì)的相互作用,，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息,，如形貌,、組成、晶體結(jié)構(gòu),、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等,。
掃描電子顯微鏡SEM 機構(gòu)組成
掃描電子顯微鏡由三大部分組成：真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng),。
掃描電子顯微鏡SEM 基本參數(shù)
放大率：通過控制掃描區(qū)域的大小來控制放大率的,。如果需要更高的放大率，只需要掃描更小的一塊面積就可以了,。放大率由屏幕/照片面積除以掃描面積得到
場深：掃描電子顯微鏡SEM中,，位于焦平面上下的一小層區(qū)域內(nèi)的樣品點都可以得到良好的會焦而成象。這一小層的厚度稱為場深,，通常為幾納米厚,，所以，SEM可以用于納米級樣品的三維成像,。
工作距離：工作距離指從物鏡到樣品高點的垂直距離,。
如果增加工作距離,，可以在其他條件不變的情況下獲得更大的場深。
如果減少工作距離,，則可以在其他條件不變的情況下獲得更高的分辨率,。
通常使用的工作距離在5毫米到10毫米之間。
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