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全自動真空等離子清洗機VP-A7有四個參數(shù)可以優(yōu)化:處理時間、通入氣體的流量、通入氣體的種類和功率,;VP-A7處理時間0-1800秒可調(diào),,精確到1秒,通入氣體的流量0-300sccm中任選,,氣體流量精度可控制在可控制±1%,,并可在觸摸屏選擇20種氣體,幾乎覆蓋了所有等離子處理工藝所需的氣體,,功率大小可無極連續(xù)調(diào)節(jié),,使等離子處理工藝的可靠性、重復性,、精細化都獲得了極大提升,。
全自動真空等離子清洗機VP-A7采用一種旋轉型不銹鋼等離子表面處理裝置技術(編號:CN202020227551.2),配置兩路氣體控制流量器(MFC),,氣體流量0-300sccm可在觸摸屏數(shù)字化控制,,射頻頻率13.56MHz,功率500W,,滿功率運行3分鐘,,腔體內(nèi)溫度不高于45°C,不會損傷樣品,;VP-A7腔體不銹鋼材質(zhì)且容積大小7升,,清洗腔可旋轉、轉速0-30r/min可調(diào),,可停止,,不旋轉相當于常規(guī)真空等離子清洗機,一機兩用,,性價比很高,,適用粉末和塊體樣品的PLASMA等離子體干法處理。
廣州善準科技有限公司成功注冊了“SUNJUNE"“SUNJUNE PLASMA"兩個商標,,擁有10項技術與軟件著作,,使用善準真空等離子處理儀和真空封管機參與做實驗的多篇高質(zhì)量論文發(fā)表在《Nature》、《Energy & Environmental Science》和《Advanced Functional Materials》等期刊,;善準科技產(chǎn)品在芯片制造,、柔性顯示材料、智能穿戴設備,、微流控芯片,、醫(yī)療器械、二維材料,、固態(tài)電解質(zhì)等領域獲得廣泛應用,,深度參與中國智造和中國科研,為善準用戶的發(fā)展壯大貢獻自己的綿薄之力。
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