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善準(zhǔn)等離子刻蝕機詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

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善準(zhǔn)等離子刻蝕機VP-RS8采用真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置技術(shù),，真空腔體不銹鋼材質(zhì),，功率500W,，頻率13.56MHz,，能對材料起到清潔,、刻蝕、活化,、改性的作用,，滿功率運行3分鐘，腔體溫度不高于45℃,，不損傷樣品,，適用于硅片刻蝕、晶圓去膠,、金屬刻蝕,、芯片去膠、半導(dǎo)體刻蝕,、硅材料刻蝕,、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS鍵合,、ITO導(dǎo)電玻璃,、纖維、單晶硅片,、PET,、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA等離子體干法刻蝕處理。

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