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41次善準等離子體去膠機VP-RS15對標國際一線廠商,，補充國內技術短板（真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置）,，真空腔體不銹鋼材質,，功率500W,，頻率13.56MHz,，能對材料起到清潔,、刻蝕,、活化,、改性的作用,，滿功率運行3分鐘,，腔體溫度不高于45℃,，不損傷樣品,，適用于晶圓去膠,、芯片去膠,、半導體刻蝕,、硅材料刻蝕、碳毯（CF）,、微流控芯片PDMS鍵合,、ITO導電玻璃,、纖維、單晶硅片,、PET,、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA等離子體處理。
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