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1      總體參數(shù)

2      工作原理

圖1 微量水分發(fā)生器工藝流程圖

（1）    濕路載氣經(jīng)減壓閥2-1#調(diào)節(jié)到5bar AG,，在飽和器中加濕，得到約2000ppm的飽和含濕氣體,；飽和含濕氣體經(jīng)過(guò)減壓閥2-2#調(diào)節(jié)到2bar AG左右,，再經(jīng)質(zhì)量流量控制器2#調(diào)節(jié)流量。

（2）    干路載氣經(jīng)減壓閥1-1#調(diào)節(jié)到2bar AG左右,，再經(jīng)質(zhì)量流量控制器1#調(diào)節(jié)流量,。

（3）    干路和濕路氣體流量比例控制在19：1，再經(jīng)過(guò)混合器后得到濕度約100ppm的目標(biāo)含濕氣體輸出,。

（4）    飽和器通過(guò)冷水機(jī)控溫，使其溫度在10℃

3   設(shè)備接口  

桌面式機(jī)箱,，

載氣入口：1/8’’ 卡套

氣體出口：1/8’’ 卡套