Edwards愛德華高級干式半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,，可以按照工作標(biāo)準(zhǔn)運行,。通過延長使用壽命,、提高運行時間并提高生產(chǎn)率,，同時減小占地面積、降低運行成本,，實現(xiàn)了高的可靠性和性能,。
 iXL系列半導(dǎo)體真空泵是緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于水處理和其他清潔工作應(yīng)用,。它可快速抽空負(fù)載鎖定艙室,，能耗極低。
 iXL120 是可用于負(fù)載鎖定和清潔應(yīng)用的小且輕的泵之一,。其低振動和低噪音級別的優(yōu)點使其適合于安裝在機臺上或工廠的夾心層中,，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率,，從而降低操作成本并幫助保護環(huán)境,！

愛德華IXL系列半導(dǎo)體干式真空泵維修保養(yǎng)

Edwards愛德華 iXL系列半導(dǎo)體干式真空泵產(chǎn)品型號：iXL120,iXL120N,iXL1000,IPUP2,iXL250Q,iXL500Q,iXL500R,iXL750Q

技術(shù)參數(shù)：

edwards iXL120 是緊湊型低能量的 110 m3h-1 干泵，用于水處理和其他清潔工作應(yīng)用,。 它可快速抽空負(fù)載鎖定艙室,，能耗極低。edwards iXL120 是可用于負(fù)載鎖定和清潔應(yīng)用的小且輕的泵之一,。 其低振動和低噪音級別的優(yōu)點使其適合于安裝在機臺上或工廠的夾心層中,，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間,。通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低操作成本并幫助保護環(huán)境,！

IXL系列干式真空泵產(chǎn)品應(yīng)用：
·半導(dǎo)體工業(yè)用真空泵和系統(tǒng)
·科研儀器,、真空加工用途真空泵和系統(tǒng)
·泄漏檢測、真空儀器,、真空元件用于全部工業(yè)領(lǐng)域
·排氣控制,、溫度控制、污水處理系統(tǒng),、氣體處理系統(tǒng),、化學(xué)品和生料控制及元件清洗服務(wù)用于半導(dǎo)體行業(yè)

Edwards iXL1000干泵特點:
•yi流的艙室 抽空時間可減少總體平均循環(huán)時間 (TACT)
•僅僅 0.55kW 的功 耗有助于da程度減少客戶擁有成本
•環(huán)保模式可以在 空閑期間多減少 92% 的功耗
•gao 35oC 的水供給有助于 降低設(shè)備冷卻水要求
•極小且極 輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
干式真空泵即無油干式機械真空泵簡稱干泵,，主要分為干式螺桿真空泵和渦旋式干兩種,。
適用于嚴(yán)苛應(yīng)用的大型 iXL干泵
Edwards iXL1000：緊湊型低能量的干 泵，適用于輕負(fù)載應(yīng)用,。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗,。可用于輕負(fù)載應(yīng)用（如晶圓加工,、PVD 和 計量）的小且安靜的泵之一,。此產(chǎn)品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎(chǔ)上構(gòu)建，具有高抽取速度和低能耗特性,。通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備 使用率,，從而降低成本并幫助保護環(huán)境。

愛德華IXL系列半導(dǎo)體干式真空泵維修保養(yǎng)