真空閥門的定義和作用
真空閥門是在真空系統(tǒng)中用來隔離(切斷)氣流,、調(diào)節(jié)氣流流量,、分配氣流的真空元件。種類繁多的真空裝置(亦稱真空工程設(shè)備)都離不開真空系統(tǒng),。真空閥門不論在簡單或復雜的真空系統(tǒng)中都占有重要的地位,。
通常在真空系統(tǒng)設(shè)計時,要根據(jù)真空裝置的要求和真空系統(tǒng)的特點來選擇不同類型的真空閥門,。例如,,真空放氣閥,是用來給真空系統(tǒng)放入大氣用的,。真空裝置完成真空作業(yè)后,,若要更換工件或取出樣品,必須將大氣放入真空室,,使真空室大門兩側(cè)沒有壓差,,才能打開大門進行工件更換。而針閥是向真空系統(tǒng)中充氣,,并能調(diào)節(jié)氣體流量的真空閥門,。
真空閥門常用于真空泵抽速測量、真空鍍膜,、離子束刻蝕,、受控熱核反應(yīng)裝置等真空系統(tǒng)上,提供精確調(diào)節(jié)的氣體流量,,用以獲得穩(wěn)定的工藝要求的真空度,;高真空擋板閥、高真空插板閥,,常用于主抽氣泵的進氣口上,,用來隔離真空泵,使之不暴露于大氣之中,。高真空蝶閥可裝于真空室,,真空管道與真空泵之間,用以接通和隔離(截止)氣流,。閥門設(shè)計不應(yīng)當漏氣,、發(fā)生機械,、電氣故障等。
需要糾正一下國內(nèi)電站閥門存在的錯誤叫法,,在電站閥門中,,通常將填料部分帶水封裝置的閥門前面冠以“真空”,如真空閘閥,、真空截止閥等,。而事實上,這些閥門的介質(zhì)壓力都很高,,有的閥門壓力高達10MPa,,這是一種錯誤的叫法,應(yīng)當予以糾正,。
選用真空閥門時主要應(yīng)注意的事項如下:
1,、所應(yīng)用的真空區(qū)域;
2,、關(guān)閉時閥門兩邊所承受的壓力差,;
3、閥的漏率,;
4,、能承受的烘烤溫度;
5,、能承受的環(huán)境溫度,;
6、以開啟/封閉次數(shù)計的壽命,;
7,、如為超高真空金屬閥,還需知道其允許的升溫率和降溫率。
真空閥門設(shè)計原則一般應(yīng)有以下幾點:
1,、閥門的密封性能要好,,不但閥板封閉處漏氣速率要小,而且閥體的漏氣速率要??;
2、閥門密封部件耐磨性要好,,特別是閥座與閥板密封部件要能反復使用,,壽命長;
3,、閥門的通導能力要大,;
4、閥門材料應(yīng)具有低飽和蒸汽壓,、高耐蝕能力和高化學穩(wěn)定性,;
5,、超高真空閥門應(yīng)耐烘烤,烘烤溫度一般不低于150℃,,gao450℃,;
6、閥門結(jié)構(gòu)要簡單,,造型美觀大方,,開關(guān)輕便靈活,開關(guān)狀態(tài)應(yīng)有標識,,大型閥門應(yīng)有起吊裝置,,操作方便,,維修容易,;
7、閥門零部件加工工藝性要好,,表面處理工藝*,,閥門連接法蘭應(yīng)符合真空法蘭國家標準要求。
真空閥門通常根據(jù)閥門的工作特性,、傳動原理,、連接方式和用途等進行分類。
根據(jù)工作壓力分:低真空閥門,、高真空閥門,、超高真空閥門。
根據(jù)用途分:截止閥,、隔離閥,、充(放)氣閥、節(jié)流閥,、換向閥,、封閉送料閥等。
根據(jù)傳動原理分:手動閥,、手電兩用閥,、電磁閥、氣動閥和液動式真空閥,。
根據(jù)材料分:玻璃真空活塞(考克),、金屬真空閥。
根據(jù)結(jié)構(gòu)特點分:擋板閥,、翻板閥,、蝶閥、球閥,、連桿閥,、隔板閥,、閘閥、雙通閥,、三通閥,、四通直通閥和直通閥等。