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GEMU蓋米閥門(mén)解決方案|半導(dǎo)體工藝中的背壓與流量控制
閱讀：358 發(fā)布時(shí)間：2024-12-20在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，確保晶圓處理過(guò)程中介質(zhì)流量和壓力的精準(zhǔn)控制對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要,。流量的波動(dòng),，通常由出口的開(kāi)關(guān)操作引起,，可能會(huì)對(duì)晶圓的質(zhì)量造成不利影響,。在這一背景下,，背壓控制技術(shù)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，它能夠保證在各個(gè)出口獨(dú)立控制的情況下,，管線(xiàn)中的流量與壓力依然保持恒定,。
以化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）漿料應(yīng)用為例：
這一步驟對(duì)于晶圓的拋光至關(guān)重要。通過(guò)精確控制漿料的供應(yīng)量,，可以優(yōu)化材料的去除過(guò)程,。背壓控制確保了流量的穩(wěn)定性，從而保障了CMP過(guò)程的均勻性和效率,，這對(duì)于提升晶圓加工質(zhì)量和最終產(chǎn)品性能具有決定性意義。
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工藝流程圖
解決方案
蓋米推出GEMÜ C53 iComLine電動(dòng)控制閥,，憑借其精確的控制精度和靈活的控制特性,，成為實(shí)現(xiàn)背壓控制的理想選擇。
方案優(yōu)勢(shì)
ADVANTAGES
結(jié)合兩款成熟的蓋米產(chǎn)品,，提供全面的一體化解決方案,；GEMÜ C53 iComLine控制閥確保了介質(zhì)流量的精確控制。GEMÜ C33壓力傳感器,，提供精確的壓力測(cè)量,。
提供多種連接類(lèi)型，包括擴(kuò)口,、入珠,、PrimeLock、Nexus Connect®,，以滿(mǎn)足多樣化的工藝需求,；連接尺寸范圍廣泛，從1/4"到3/4",，適用于不同的設(shè)備和工藝要求,。
所有與介質(zhì)接觸的部件均采用PFA或PTFE材料，確保耐腐蝕性和純凈度。
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適配產(chǎn)品推薦
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蓋米以技術(shù)創(chuàng)新和zhuo越品質(zhì),，助力半導(dǎo)體制造行業(yè)邁向更高標(biāo)準(zhǔn),。我們期待與您攜手，共同提升工藝效率,。如需了解更多信息,，請(qǐng)聯(lián)系蓋米閥門(mén)中國(guó)。
