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技術(shù)文章

巴魯夫傳感器解決方案丨在載具傳送中實現(xiàn)非接觸式精確定位的理想之選

閱讀:1446          發(fā)布時間:2024-7-12


在全球數(shù)字化的浪潮中,,半導體行業(yè)扮演著至關(guān)重要的角色。并且隨著5G,、物聯(lián)網(wǎng),、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展,對高性能半導體芯片的需求也在日益增長,。


在半導體制造過程中,,每一個環(huán)節(jié)都必須達到j(luò)i高的精度和可靠性,以滿足日益嚴苛的行業(yè)標準,。載具傳送作為保障晶圓在生產(chǎn)過程中安全,、高效移動的關(guān)鍵步驟,其創(chuàng)新和優(yōu)化對于整個半導體生產(chǎn)具有重要意義,。



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巴魯夫為您提供高效且可靠的

載具傳送解決方案

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精確與高效

無論是FOUP和SMIF晶圓傳送盒,,巴魯夫支持載具的精確和高效傳送。系統(tǒng)能夠全自動監(jiān)測AMHS的移動,,無論是在短距離的RGV應(yīng)用還是長距離的OHV應(yīng)用中,,都表現(xiàn)出ji高的可靠性。



非接觸式定位

巴魯夫的非接觸式系統(tǒng)提供了精確的定位能力,,確保晶圓能夠安全,、可靠地傳送至每個工序,有效避免了擦傷和裂口的問題,。



可追溯性

系統(tǒng)還具備強大的可追溯性,,能夠?qū)崟r記錄載具的位置,確保生產(chǎn)過程的透明度和追蹤能力,。




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接下來讓我們一起來看看巴魯夫產(chǎn)品在載具傳送環(huán)節(jié)的具體應(yīng)用:

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檢測載具是否存在

Balluff Micromote®光學傳感器頭


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如果要檢測裝載埠上是否有載架,,巴魯夫的對射型和漫反射型傳感器以其扁平構(gòu)造巧妙集成于裝載埠,能夠節(jié)省空間并進行精準檢測,,確保機器只在載具??繒r啟動,優(yōu)化生產(chǎn)流程。


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產(chǎn)品亮點


1

極為扁平的構(gòu)造

2

節(jié)省空間

3

單獨聚焦





可靠跟蹤載具

BVS視覺傳感器


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為了能夠跟蹤AMHS系統(tǒng)中的載具,,您可以為載具配置二維碼,。我們的BVS視覺傳感器能夠識讀數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼和條形碼,,從而能夠偵測到輸送載具的每一個動作,,確保您隨時掌握輸送載具的動態(tài)。

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產(chǎn)品亮點


1

易于集成,,操作簡單直觀

2

所有數(shù)據(jù)均集中存儲調(diào)用

3

將大量數(shù)據(jù)與過程網(wǎng)絡(luò)分離,,zuui大程度減少了數(shù)據(jù)負荷




持續(xù)檢測AMHS位置

BML磁柵編碼系統(tǒng)


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采用我們的BML磁編碼位置測量系統(tǒng),您可以實現(xiàn)對輸送車位置的精準監(jiān)測,。這些傳感器可以根據(jù)您的特定測量需求進行定制配置,,具有高度精確性,確保您的載具順暢且準確地傳送至裝載架,。

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產(chǎn)品亮點


1

非接觸式測量原理,,即無磨損

2

極其可靠,高度精確

3

用途多樣,,磁條最長可達48m,,可根據(jù)需求裁剪




檢測AMHS終端位置

巴魯夫BES電感式傳感器


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我們?yōu)槟O(jiān)測載具輸送車的終端位置提供了眾多選擇。根據(jù)您的具體需求,,我們的電感式,、電容式或光電式傳感器能夠確認AMHS位置是否正確,您的載具是否精確定位在裝載架上,。


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產(chǎn)品亮點


1

非接觸式,,無磨損

2

技術(shù)多樣性,高效應(yīng)對各種需求


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半導體自動化手巴魯夫

半導體行業(yè)的發(fā)展過程中,,巴魯夫以其前瞻性的技術(shù)為您的生產(chǎn)提供堅實支撐,。我們致力于提供創(chuàng)新的自動化解決方案,通過集成先進的傳感器,、監(jiān)測技術(shù)和智能控制,,優(yōu)化您的生產(chǎn)流程,提升產(chǎn)品質(zhì)量并降低成本,,助力您應(yīng)對半導體生產(chǎn)過程中的各種挑戰(zhàn),。


同時我們根據(jù)您的需求提供定制化的解決方案。無論是提高生產(chǎn)效率,、優(yōu)化資源配置,還是增強生產(chǎn)過程的透明度和可追溯性,,巴魯夫都能為您提供全面的支持,。攜手巴魯夫,開啟卓、越之旅,,立即探索我們的技術(shù),,讓創(chuàng)新yin領(lǐng)您的生產(chǎn)。


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