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PFA花籃(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花藍(lán) ,,鐵氟龍卡匣 ,, 鐵氟龍晶舟盒 ,鐵氟龍晶圓盒為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器,,耐酸耐堿耐腐蝕(強(qiáng)酸,、強(qiáng)氟酸、強(qiáng)堿),,主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門(mén)之酸堿制程中使用,、傳送晶圓。我司PFA花籃,,進(jìn)入化學(xué)酸,、堿蝕刻制程中,可搭配PFA把手使用,。 特點(diǎn) 1.耐腐蝕:耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿 2.搭配可活動(dòng)把手,,用于晶圓芯片清洗運(yùn)輸 3.耐高低溫:-200~260℃ 4.耐絕緣:介電性能與溫度、頻率無(wú)關(guān),; 5.防污染:本底值低,,金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb; 6.低的溶出和析出,,確保晶圓芯片無(wú)污染 7.化學(xué)性能穩(wěn)定 |
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