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高光譜成像儀應(yīng)用于Micro-LED快速檢測
閱讀:971 發(fā)布時(shí)間:2021-7-13
隨著消費(fèi)電子技術(shù)和產(chǎn)品的發(fā)展,Micro-LED作為下一代可能的顯示器需要一種高速的檢測技術(shù)以滿足大批量生產(chǎn)制造的需求,。高光譜成像技術(shù)恰好具有滿足這個(gè)需求的前景,。
針對某個(gè)客戶提供的Micro-LED樣品和檢測要求,我公司的技術(shù)人員在之前的高光譜顯微成像系統(tǒng)的基礎(chǔ)上做了大量改進(jìn),,在樣品測試中取得了良好的效果,。
下圖是我們采用的檢測系統(tǒng)基本構(gòu)成。
Micro-LED燈珠誘導(dǎo)發(fā)光影像及光譜
Micro-LED是在某個(gè)尺寸的晶圓上通過類似于光刻的技術(shù)手段制作出按規(guī)則排列的微型LED燈珠,,最終成為Micro-LED顯示器,。
我們改進(jìn)的成像高光譜檢測系統(tǒng)可以清楚的觀察到燈珠之間的間隙,,區(qū)分正負(fù)極,分辨出“盲珠”并且利用專有軟件判斷每個(gè)燈珠發(fā)光的波長準(zhǔn)確性,、發(fā)光顏色和亮度等,。最終實(shí)現(xiàn)工業(yè)級的高速檢測。