詳細介紹
SGC-1A橢圓偏振測厚儀近代科學技術(shù)的許多學科對各種薄膜的研究和應用日益廣泛,,因此,,測得薄膜厚度和光學參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實際工作中,,常常使用橢圓偏振法來進行測量,。這種方法測量靈敏度和精度較高,并且是非破壞性測量。他能同時測定薄膜的厚度和折射率,。
本產(chǎn)品為手動方式調(diào)節(jié)儀器,測量薄膜的厚度和光學參數(shù),。清晰的展示了橢圓偏振測厚儀的各個部件的結(jié)構(gòu)功能,,調(diào)節(jié)方法,使用戶可詳細的了解橢圓儀的原理結(jié)構(gòu),,并培養(yǎng)其動手操作能力,。
SGC-1A橢圓偏振測厚儀參數(shù)
編號 | 名稱 | 參數(shù) |
1 | 測量范圍 | 1nm-300nm |
2 | 測量小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°~90°誤差≤0.1° |
4 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°~180° |
5 | 度盤刻度 | 每格2度 |
6 | 游標小讀數(shù) | 0.05° |
7 | 光學中心高度 | 152mm |
8 | 工作臺直徑 | φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm×230mm×290mm |
10 | 主機重量 | 20kg |