在集成電路特別是MOS電路的生產(chǎn)和開發(fā)研制中，MOS電容的C-V測試是極為重要的工藝過程監(jiān)控測試手段,，通過C-V測試達(dá)到優(yōu)化生產(chǎn)過程中的工藝參數(shù),，提高IC成品率。 

MOS（金屬－氧化物－半導(dǎo)體）結(jié)構(gòu)的電容是外加偏置電壓的函數(shù),，MOS電容隨外加電壓變化的曲線稱之為C-V曲線（簡稱C－V特性）,。C-V曲線與半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型及其摻雜濃度、SiO2-Si系統(tǒng)中的電荷密度有密切的關(guān)系,。 利用實際測量到的MOS結(jié)構(gòu)的C-V曲線與理想的MOS結(jié)構(gòu)的C-V特性曲線比較,，可求得氧化硅層厚度、襯底摻雜濃度,、氧化層中可動電荷面密度,、和固定電荷面密度等參數(shù)。

另外作為組成半導(dǎo)體器件的基本結(jié)構(gòu)的PN結(jié)具有電容效應(yīng)（勢壘電容）,。加正向偏壓時,，PN結(jié)勢壘區(qū)變窄，勢壘電容變大,；加反向偏壓時,，PN結(jié)勢壘區(qū)變寬，勢壘電容變小,。

CV-5000型電容電壓特性測試儀是測試頻率為1MHz的智能化數(shù)字的電容測試儀器,，既可用于測試半導(dǎo)體器件PN結(jié)的勢壘電容在不同偏壓下的電容量，也可進(jìn)行Mos電容的外加電壓掃描測試,，還可測試其它MIS電容,。

該儀器由主機(jī)和上位機(jī)（PC）組成，并在軟件控制下完成校準(zhǔn)及測試等功能,，同時顯示C-V電容電壓特性曲線,。主機(jī)面板上的發(fā)光二極管指示儀器的工作狀態(tài)，用數(shù)碼管組成的顯示板,，將被測元件的數(shù)值,，小數(shù)點清晰地顯示出來。儀器有較高的分辨率,，電容量是五位讀數(shù),，可分辮到0.001pF，偏置電壓分辨力為0.1V,，漏電流分辨力為0.01uA,。

儀器配有測量座,，接插元件靈活，方便可靠,。

該儀器軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,，程序操作直觀易用。測試程序在計算機(jī)與該儀器連接的狀態(tài)下,，通過計算機(jī)的USB口實現(xiàn)通訊,。
測試程序控制電容電壓特性測試測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析,，然后把測試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。

CV-5000型電容電壓特性測試儀技術(shù)指標(biāo) ：

測試信號頻率 1.000MHz±0.01%

測試信號電壓小于或等于100mVrms

電容測量范圍 1.000pF～5000.0pF

工作誤差±3.0%±2字

直流偏壓 -35V～+35V(可擴(kuò)展),，由軟件按設(shè)定步進(jìn)電壓值輸出偏置電壓；

軟件功能：由軟件控制電壓的掃描輸出,，讀取不同電壓點的電容值并在電腦中繪出電容-
電壓的變化曲線,。軟件可記錄、保存,、打印每一點的測試數(shù)據(jù),，也可把測試 數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,；

電腦通訊接口：USB通訊接口,；

應(yīng)用主要應(yīng)用于PN結(jié)摻雜和MOS摻雜C-V特性測量在不同偏壓下的電容量，也可測試
其它電容,。

供電電流交流電壓：220V±5%,；頻率： 50Hz±5%；消耗功率：不大于40W,；

工作環(huán)境：溫度：0～40℃,；濕度：20%~90%RH 40℃；