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低溫泵的工作原理
閱讀：2040 發(fā)布時間：2020-7-18
低溫泵的工作原理及構(gòu)造示意圖
低溫泵的工作原理是利用氣體在超低溫表面發(fā)生物理吸附而達(dá)到排氣的效果,，是獲得潔凈真空的一種有效,、快捷的方法,。
低溫泵能夠達(dá)到*真空(10-11 Pa)，有排氣速度快,、無油和安裝方向不受限制等優(yōu)點,，其構(gòu)造如圖1所示。
圖1 低溫泵的構(gòu)造示意圖
1—一級冷臺,；2—二級冷臺,；3—低溫罩；4—屏蔽罩,；5—擋板
低溫泵的一級冷臺上,，設(shè)置屏蔽罩和擋板，溫度維持在80K,。二級冷臺維持在15K,，上面設(shè)置低溫罩和活性炭吸附劑。
水蒸氣凝固在80K屏蔽罩和80K擋板上,；氮氣,、氧氣和氬氣凝固在15K低溫罩上；氫氣,、氦氣和氖氣被吸附在15K低溫罩內(nèi)側(cè)的吸附劑上,。低溫泵可以對所有氣體排氣，但是如果吸附的氣體量過多,，則排氣速度降低,。這時，需要將低溫泵加熱,，放出吸附的氣體后,，重新使用。