低溫泵的工作原理
低溫泵的工作原理及構(gòu)造示意圖
低溫泵的工作原理是利用氣體在超低溫表面發(fā)生物理吸附而達(dá)到排氣的效果,是獲得潔凈真空的一種有效,、快捷的方法,。
低溫泵能夠達(dá)到*真空(10-11 Pa),,有排氣速度快,、無(wú)油和安裝方向不受限制等優(yōu)點(diǎn),,其構(gòu)造如圖1所示。
圖1 低溫泵的構(gòu)造示意圖
1—一級(jí)冷臺(tái),;2—二級(jí)冷臺(tái);3—低溫罩,;4—屏蔽罩,;5—擋板
低溫泵的一級(jí)冷臺(tái)上,設(shè)置屏蔽罩和擋板,,溫度維持在80K,。二級(jí)冷臺(tái)維持在15K,上面設(shè)置低溫罩和活性炭吸附劑,。
水蒸氣凝固在80K屏蔽罩和80K擋板上,;氮?dú)狻⒀鯕夂蜌鍤饽淘?5K低溫罩上,;氫氣,、氦氣和氖氣被吸附在15K低溫罩內(nèi)側(cè)的吸附劑上。低溫泵可以對(duì)所有氣體排氣,,但是如果吸附的氣體量過(guò)多,,則排氣速度降低。這時(shí),,需要將低溫泵加熱,,放出吸附的氣體后,重新使用,。