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壓阻式壓力變送器的原理
閱讀：1582 發(fā)布時(shí)間：2021-8-16壓阻式壓力變送器
單晶硅壓力/差壓變送器用于測(cè)量液體,、氣體或蒸汽的液位,、密度、壓力,，然后將其轉(zhuǎn)變成4~20mA,，Hart電流信號(hào)輸出，也可與HART-375或BST,，Modem相互通信,，通過他們進(jìn)行參數(shù)設(shè)定、過程控制,。與傳統(tǒng)電接點(diǎn)壓力表的區(qū)別在于它使用的是納米單晶硅作為傳感器材料,。 傳感器模塊采用全焊接技術(shù),，內(nèi)部擁有一個(gè)整體化的過載膜片，一個(gè)壓力傳感器和一個(gè)溫度傳感器,。溫度傳感器作為溫度補(bǔ)償?shù)膮⒖贾?。壓力傳感器的正壓?cè)與傳感器膜盒的高壓腔相連，傳感器的負(fù)壓側(cè)與傳感器膜盒的低壓腔相連,，壓力通過隔離膜片和填充液,，傳遞給傳感器內(nèi)的硅芯片，使壓力傳感器的芯片的阻值發(fā)生變化,，從而導(dǎo)致檢測(cè)系統(tǒng)輸出電壓變化,。該輸出電壓與壓力變化成正比，再由適配單元和放大器轉(zhuǎn)化成一標(biāo)準(zhǔn)化信號(hào)輸出,。
單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理
壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成,。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,，在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,。并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi),。 當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),，單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變，使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測(cè)壓力成比例的變化,，再由橋式電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號(hào),。