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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
半導體材料的霍爾效應是表征和分析半導體材料的重要手段,，可根據(jù)霍爾系數(shù)的符號判斷材料的導電類型,。霍爾效應本質(zhì)上是運動的帶電粒子在磁場中受洛侖茲力作用引起的偏轉(zhuǎn),，當帶電粒子（電子或空穴）被約束在固體材料中,，這種偏轉(zhuǎn)就導致在垂直于電流和磁場的方向上產(chǎn)生正負電荷的聚積，形成附加的橫向電場,。
根據(jù)霍爾系數(shù)及其與溫度的關(guān)系可以計算載流子的濃度,，以及載流子濃度同溫度的關(guān)系，由此可以確定材料的禁帶寬度和雜質(zhì)電離能；通過霍爾系數(shù)和電阻率的聯(lián)合測量能夠確定載流子的遷移率,，用微分霍爾效應法可測縱向載流子濃度分布,；測量低溫霍爾效應可以確定雜質(zhì)補償度。與其他測試不同的是霍爾參數(shù)測試中測試點多,、 連接繁瑣,，計算量大，需外加溫度和磁場環(huán)境等特點,，在此前提下,，手動測試是不可能完成的。
國產(chǎn)源表應用之半導體霍爾效應測試實驗認準廠家普賽斯儀表,，普賽斯儀表開發(fā)的霍爾效應測試系統(tǒng)可以實現(xiàn)幾千到至幾萬點的多參數(shù)自動切換測量,，系統(tǒng)由S系列國產(chǎn)源表，2700矩陣開關(guān)和S型測試軟件等組成,?？稍诓煌拇艌觥囟群碗娏飨赂鶕?jù)測試結(jié)果計算出電阻率,、霍爾系數(shù),、載流子濃度和霍爾遷移率，并繪制曲線圖,。在半導體制程的晶圓基片和離子注入等階段,，或者封裝好的霍爾器件需要做霍爾效應的測試。
需要測試的參數(shù)：
電阻率
霍爾系數(shù)
載流子濃度
霍爾遷移率特性曲線
范德堡法
需要的儀器列表：
國產(chǎn)S型源表
開關(guān)
變溫器
可變磁場
軟件
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