產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體分立器件是組成集成電路的基礎(chǔ),,包含大量的雙端口或三端口器件,,如二極管,晶體管,,場效應(yīng)管等,。 直流I-V測試是表征微電子器件工藝及材料特性的基礎(chǔ),通常使用I-V特性分析或I-V曲線來決定器件的基本參數(shù),。
分立器件I-V特性測試的主要目的是通過實(shí)驗(yàn)幫助工程師提取半導(dǎo)體器件的基本I-V特性參數(shù),,并在整個(gè)工藝流程結(jié)束后評估器件的優(yōu)劣。在半導(dǎo)體制程的多個(gè)階段都有應(yīng)用,,如金屬互連,鍍層階段,,芯片封裝后的測試等,。
普賽斯儀表開發(fā)的半導(dǎo)體分立器件I-V特性測試方案,由一臺或兩臺源精密源測量單元(SMU),、夾具或探針臺,、上位機(jī)軟件構(gòu)成,。以三端口MOSFET器件為例,配套以下設(shè)備:
兩臺S型數(shù)字源表
四根三同軸電纜
夾具或帶有三同軸接口的探針臺
三同軸T型頭
I-V 測試內(nèi)容和所需設(shè)備
需要測試的參數(shù):
輸出特性曲線
轉(zhuǎn)移特性曲線
跨導(dǎo) gm
擊穿電壓 BVDS
需要儀器列表:
SMU 源表
探針臺或夾具
Easy start上位機(jī)軟件
高校相關(guān)專業(yè)
測控,,微電子
電氣,,自動(dòng)化,機(jī)械
所有開設(shè)模擬電路課程的專業(yè)
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