2025/07/10
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1,、腔體材質由原來不銹鋼修改為全鋁合金一體加工成形
2 ,、原來進氣口利用管道接頭進行連接現(xiàn)在直接在腔體側壁整體加工進氣管道減少至少3處管道連接口從而減小漏氣故障率
3、原來設備寬度435mm 減小到420mm
4 ,、濺射磁場比原來加強
5,、濺射靶材壓板安裝優(yōu)化,無需把壓板螺絲全部拆卸,,即可拿掉壓板進行靶材安裝
6,、兩款產(chǎn)品全部預留了SMA擴展口 進行晶振或者其他信號輸入輸出