目錄:鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>材料樣品檢測>>真空探針臺(tái)>> KT-Z4019MRL4T高溫真空腔光學(xué)測試
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更新時(shí)間：2025-05-06 11:16:23瀏覽次數(shù)：2014評(píng)價(jià)
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高品質(zhì)鋼質(zhì)蜂巢臺(tái)面：
光學(xué)隔振平臺(tái)由鋼質(zhì)蜂巢內(nèi)核,、頂板及底板組成，在降低重量的前提下提供了足夠的硬度,。光學(xué)隔振平臺(tái)頂板為高導(dǎo)磁性不銹鋼材料,，底板為氧化處理碳鋼板，四周側(cè)板內(nèi)層為碳鋼板外層為黑色鋁塑板,。
氣浮隔震裝置：
氣壓式防振裝置,，符合 JISD-4101 氣墊耐壓試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn) ；自然頻率 3Hz~5Hz,，最大使用壓力 4.5Kg/cm^2。,；本體采用 Neoprene Rubber,，一體成型氣密性佳。防振效果*,，一般設(shè)備效率可達(dá) 97%以上,。
高溫真空腔光學(xué)測試KT-Z4019MRL4T
196℃至350℃微型高低溫探針臺(tái)，結(jié)構(gòu)精美,，外觀小巧,，搭配4探針，留有石英玻璃觀察窗,，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺(tái),，氣敏測試,，光敏測試等。
高溫真空腔光學(xué)測試KT-Z4019MRL4T
| 真空腔體 | ||
| 類型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
| 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
| 腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
| 腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
| 腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
| 腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | |
| 腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
| 腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
| 腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
| 腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
| 腔體水冷接口 | ||
| 腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
| 腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
| 樣品臺(tái) | ||
| 樣品臺(tái)材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
| 樣品臺(tái)尺寸 | 26x26mm | |
| 樣品臺(tái)加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
| 樣品臺(tái)-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
| 樣品臺(tái)測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
| 樣品臺(tái)溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
| 樣品臺(tái)測溫誤差 | ±0.5℃ | |
| 樣品臺(tái)升溫速率 | 高溫100℃/min 低溫7℃/min | |
| 溫控儀 | ||
| 溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | |
| 溫控類型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 | |
| 溫度分辨率 | 0.1℃ | |
| 溫控精度 | ±0.5℃ | |
| 溫度信號(hào)輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | |
| 溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
| 輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 | |
| 溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
| 溫控器重量 | 約5.6KG | |
| 探針 | ||
| 電信號(hào)接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 | |
| 電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
| 探針數(shù)量 | 4探針（可擴(kuò)展5探針） | |
| 探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） | |
| 探針尖 | 10μm | |
| 手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái) | ||
| X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)） | |
| X軸控制精度 | ≥500μm | |
| R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿） | |
| R軸控制精度 | ≥500μm | |
| Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm | |
| Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿） | |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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