目錄:鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>材料樣品處理>>等離子清洗機(jī)>> KT-S2DQX等離子清洗機(jī)刻蝕
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,綜合 |
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等離子清洗機(jī)刻蝕KT-S2DQX應(yīng)用領(lǐng)域：光學(xué)器件、電子元件,、半導(dǎo)體元件、激光器件、鍍膜基片,、終端安裝等的超清洗,。清洗光學(xué)鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片,。移除光學(xué)元件,、半導(dǎo)體元件等表面的光阻物質(zhì)，去除金屬材料表面的氧化物,。清洗半導(dǎo)體元件,、印刷線路板、ATR元件,、人工晶體,、天然晶體和寶石。清洗生物芯片,、微流控芯片,、沉積凝膠的基片。高分子材料表面的修飾,。封裝領(lǐng)域中的清洗和改性,，增強(qiáng)其粘附性，適用于直接封裝及粘和,。改善粘接光學(xué)元件,、光纖、生物醫(yī)學(xué)材料,、宇航材料等所用膠水的粘和力,。
等離子清洗機(jī)刻蝕KT-S2DQX
供電電源 | AC220V（AC110V可選) |
工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | ＜0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆，手動匹配 |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤100Pa |
腔體材質(zhì) | 高純石英 |
腔體容積 | 2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM) |
觀察窗內(nèi)徑 | Φ65 |
氣體流量 | 10—100ml/min（其他量程可選） |
過程控制 | 過程手動控制 |
清洗時間 | 手動開關(guān) |
開蓋方式 | 鉸鏈側(cè)開式法蘭 |
外形尺寸 | 400x380x360mm |
重量 | 23Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
標(biāo)配 | KF16真空管1米,，kf16卡箍2個,，不銹鋼網(wǎng)匣1個，電源線一根,，說明書一本,。 |
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