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   真空低溫探針臺主要應用于半導體行業(yè),、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試,。廣泛應用于復雜,、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本

    真空低溫探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調節(jié),，其中X方向調節(jié)范圍：0－30mm,；y方向調節(jié)范圍：0－13mm；z方向調節(jié)范圍：0－13mm,；用戶可根據(jù)需要自行調節(jié),。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,，通過顯微鏡觀察,，使探針對準檢測點后，即可進行檢測,。

1,、總體規(guī)格

尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）

自重：約80Kg

2、結構與特點

（1）真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4Pa,。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa,。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）

（2）探針控制：標配4個探針臂。調節(jié)范圍50mm*50mm*30mm,，調節(jié)精度優(yōu)于10um,。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜

（3）顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡,，光學放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物鏡時）,，視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡,。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字攝像頭,，帶同軸照明和環(huán)形照明,，帶機械調焦和光學調焦

（4）變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K,?？販胤€(wěn)定性優(yōu)于±0.02K

（5）可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖

（6）系統(tǒng)直流漏電低于1pA

3,、含進口分子泵機組,、全量程真空規(guī)和智能溫控儀

4、設備照片（因配置不同,，照片僅供參考）